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物体の偏光指紋の構築及びその応用

研究課題

研究課題/領域番号 24560043
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関山梨大学

研究代表者

金 蓮花  山梨大学, 総合研究部, 准教授 (40384656)

研究分担者 近藤 英一  山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (40304871)
近藤 英一  山梨大学, 総合研究部, 教授 (70304871)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
キーワード光散乱 / 偏光計測 / 光計測 / 散乱モデル / 偏光 / 偏光指紋
研究成果の概要

本研究は,物体表面による散乱光の完全な情報を迅速・コンパクトに取得・表現できる「偏光指紋」を構築することが目的である.本研究では大きく分けて,i)偏光指紋の定義の提案,ii) 偏光指紋計測用の散乱偏光情報の取得装置の開発,iii)金属と誘電体の偏光指紋の構築,iv)偏光指紋の物体同定への応用を視野に,散乱モデルの確立を試み,理論解析を行った.

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (33件)

すべて 2015 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 10件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (20件) 備考 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Correction of the large retardation window effect for ellipsometry measurements by using quasi-Newton method2015

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, S. Kasuga, E. Kondoh, and B. Gelloz
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 54 号: 10 ページ: 2703-2709

    • DOI

      10.1364/ao.54.002991

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In Situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal2014

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, Y. Wakako, K. Takizawa, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 571 ページ: 532-537

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2014.05.017

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] General window correction method for ellipsometry measurements2014

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, S. Kasuga, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Opt. Express

      巻: 22 号: 23 ページ: 27811-27820

    • DOI

      10.1364/oe.22.027811

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Correction of large birefringent effect of windows for in-situ ellipsometry measurements2014

    • 著者名/発表者名
      L. Jin and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 39 号: 6 ページ: 1549-1552

    • DOI

      10.1364/ol.39.001549

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Supercritical fluid deposition of copper into mesoporous silicon2013

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, E. Kondoh, T. Oya, B. Gelloz
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 545 ページ: 357-360

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2013.08.034

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electro-Optic Coefficient r51 of LiNbO3 Crystal Obtained from Measurement of Retardation Induced by Square of Electric Field2013

    • 著者名/発表者名
      K. Takizawa, K. Haraguchi, L. Jin, and S. Suzuki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 5R ページ: 58001-2

    • DOI

      10.7567/jjap.52.058001

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fast Imaging Ellipsometer Using a LiNbO3 Electrooptic Crystal2013

    • 著者名/発表者名
      L. Jin, R. Yagi, K. Takizawa, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 3R ページ: 036702-036702

    • DOI

      10.7567/jjap.52.036702

    • NAID

      210000141901

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 有機結晶の偏光特性を利用した新しい教材2012

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,大矢 敏史,高和 宏行,近藤 英一
    • 雑誌名

      応用物理教育

      巻: 36 ページ: 21-26

    • NAID

      10031140483

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Birefringence Polarimeter Using Dual LiNbO3 Electrooptic Crystal Modulators2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saitou, M. N. Bin, H. Kowa , N. Umeda, K. Takizawa, E. Kondoh, and L. Jin
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51/082201 号: 8R ページ: 1-5

    • DOI

      10.1143/jjap.51.082201

    • NAID

      210000141033

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ spectroscopic ellipsometry of Cu deposition process from supercritical fluids ―An evidence for an abnormal surface layer formation―2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki, Y. Tamegai, T. Ueno, M. Watanabe, L. Jin, and E. Kondoh
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 号: 5S ページ: 05EA02-05EA02

    • DOI

      10.1143/jjap.51.05ea02

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 準ニュートン法を用いたエリプソメトリー計測の窓補正2015

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,春日翔貴,近藤英一
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] シングルスリットによる回折光の偏光特性2015

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,丹沢 貴之
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] その場エリプソメトリーにおける窓の補正方法およびその応用2014

    • 著者名/発表者名
      春日翔貴,近藤英一, 金蓮花
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2014
    • 発表場所
      筑波大学(東京都文京区)
    • 年月日
      2014-11-05 – 2014-11-06
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] エリプソメトリーにおける観測窓補正の一般化2014

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,春日翔貴,近藤英一
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] その場エリプソ計測における観測窓の影響の補正2014

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,近藤英一
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] ラフな鉄表面による散乱光の偏光特性および光学モデリング2014

    • 著者名/発表者名
      山口晃司,近藤英一,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu埋め込みされたマイクロポーラスシリコンの電気特性2014

    • 著者名/発表者名
      大矢敏史,近藤英一,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] HWA処理によるポーラスシリコン上のナノロッド形成の試み2014

    • 著者名/発表者名
      由井寛之,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Photo-assisted metal fill to nanopores using a supercritical fluid along with in-situ spectroscopic ellipsometric observation2013

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, Y. Tamegai, M. Watanabe, and L. Jin
    • 学会等名
      39th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      London, England
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Scattering light pattern of rough surface2013

    • 著者名/発表者名
      Yamaguchi,A. Muhammad,B. Gelloz,E. Kondoh, and L. Jin
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] In-Situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Wakako, K. Takizawa, E. Kondoh, and L. Jin
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 超臨界流体を用いたメソポーラスシリコンへのCu 埋め込み2013

    • 著者名/発表者名
      金蓮花,大矢敏史,近藤英一,Bernard Gelloz
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] “LiNbO3電気光学結晶を用いたその場イメージングエリプソメーターの開発2013

    • 著者名/発表者名
      若子裕亮,滝沢國治,近藤英一,金蓮花
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] ラフな面におけるIn-plane散乱光パターン2013

    • 著者名/発表者名
      山口晃司,アティラ ムハマド,近藤英一,金蓮花
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析(第3報)2013

    • 著者名/発表者名
      近藤英一,五味瞭汰,田部井幸寛,渡邉満洋,金蓮花
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 2乗電界によるポッケルス効果の解析ー測定精度とカー効果の関係2013

    • 著者名/発表者名
      滝沢國治,原口康史,伊林亜希子,金蓮花,鈴木誠一
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 偏光指紋による物体の同定2012

    • 著者名/発表者名
      金 蓮花,山口 晃司,近藤 英一
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2012
    • 発表場所
      東京, 船堀タワーホール
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 電界の2乗により誘起される位相差の測定から求めたLiNbO3結晶の電気光学係数r512012

    • 著者名/発表者名
      滝沢 國治,原口 康史,金 蓮花,鈴木 誠一
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2012
    • 発表場所
      東京, 船堀タワーホール
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ Spectroscopic Ellipsometry of Cu Deposition Process from Supercritical Fluids - Evidence for a Surface Condensation Layer Formation2012

    • 著者名/発表者名
      E. Kondoh, T. Sasaki, Y. Tamegai, M. Watanabe, and L. Jin
    • 学会等名
      10th International Symposium on Supercritical Fluids
    • 発表場所
      Hyatt Regency San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] UV硬化液晶を用いた視覚復号型暗号デバイスの開発2012

    • 著者名/発表者名
      手島昂太朗,高和宏行,岩見健太郎,梅田倫弘,築地光雄,金 蓮花
    • 学会等名
      第73回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [備考] 山梨大学 研究者総覧

    • URL

      http://erdb.yamanashi.ac.jp/rdb/A_DispDetail.Scholar?fid=0&id=0A0A3CE32AB61572

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] 山梨大学 研究者総覧

    • URL

      http://erdb.yamanashi.ac.jp/rdb/A_DispDetail.Scholar?fid=0&id=0A0A3CE32AB61572

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [産業財産権] 光学特性の測定方法及び光学特性の測定装置2014

    • 発明者名
      金 蓮花,近藤英一
    • 権利者名
      山梨大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-016281
    • 出願年月日
      2014-01-31
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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