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スパッタエッチングにより作製した多機能微細突起物の表面硬化と強度評価

研究課題

研究課題/領域番号 24560117
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関広島国際学院大学

研究代表者

中佐 啓治郎  広島国際学院大学, 工学部, 研究員 (80034370)

連携研究者 王 栄光  広島工業大学, 工学部, 教授 (30363021)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2014年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードスパッタエッチング / 微細突起物 / 表面硬化 / 強度評価
研究成果の概要

各種の鋼の表面をアルゴンイオンでスパッタエッチングすると、微細な突起物が形成される。突起物のもつ光学的・熱的・化学的機能を長期間にわたり保証し、突起物の機械的機能を摩擦搬送ロールおよび光反射防止膜製造用・塗膜はく離防止用の穴あけ転造ロール表面として利用するため、本研究では、突起物の強度の向上を試みた。その結果、突起物の焼入れまたはプラズマ窒化により突起物の押しつけおよびスクラッチ強度が約2倍に増加すること、プラズマ窒化した突起物は高分子板への静的および繰返し押しつけによっても先端が変形しにくいこと、突起物にSiC薄膜をスパッタコーティングすると、高分子膜の離型性が向上することを明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (2件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Effect of plasma nitriding on the strength of fine protrusions formed by sputter etching of AISI type 420 stainless steel2015

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Nakasa, Akihiro Yamamaoto, Rongguang Wang, Tsunetaka Sumomogi
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 272 ページ: 298-308

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2015.03.048

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] マルテンサイト系ステンレス鋼のスパッタエッチングによる微細突起物の形成2014

    • 著者名/発表者名
      中佐啓治郎、山本旭宏、王栄光、李木経孝
    • 雑誌名

      鉄と鋼

      巻: 100 号: 5 ページ: 647-655

    • DOI

      10.2355/tetsutohagane.100.647

    • NAID

      130004747769

    • ISSN
      0021-1575, 1883-2954
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ステンレス鋼のスパッタエッチングによって形成された微細突起物の強度に及ぼすプラズマ窒化の影響2014

    • 著者名/発表者名
      中佐啓治郎,山本旭宏,王 栄光,李木経孝
    • 学会等名
      日本金属学会・日本鉄鋼協会中国四国支部講演大会
    • 発表場所
      徳島大学工学部(徳島県徳島市南常三島町)
    • 年月日
      2014-08-21 – 2014-08-22
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] スパッタエッチングによるマルテンサイト系およびフェライト系ステンレス鋼の微細突起物形成挙動

    • 著者名/発表者名
      中佐啓治郎、山本旭宏、王栄光、李木経孝
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会・日本金属学会中国四国支部
    • 発表場所
      愛媛大学工学部(愛媛県松山市)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [備考] 中佐啓治郎のホームページ

    • URL

      http://www006.upp.so-net.ne.jp/nakasa/

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] 中佐啓治郎(広島国際学院大学)のホームページ

    • URL

      http://www006.upp.so-net.ne.jp/nakasa/

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [備考] 中佐啓治郎(広島国際学院大学 )のホームページ

    • URL

      http://www006.upp.so-net.ne.jp/nakasa/

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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