研究課題/領域番号 |
24560117
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
機械材料・材料力学
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研究機関 | 広島国際学院大学 |
研究代表者 |
中佐 啓治郎 広島国際学院大学, 工学部, 研究員 (80034370)
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連携研究者 |
王 栄光 広島工業大学, 工学部, 教授 (30363021)
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研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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配分額 *注記 |
2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2014年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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キーワード | スパッタエッチング / 微細突起物 / 表面硬化 / 強度評価 |
研究成果の概要 |
各種の鋼の表面をアルゴンイオンでスパッタエッチングすると、微細な突起物が形成される。突起物のもつ光学的・熱的・化学的機能を長期間にわたり保証し、突起物の機械的機能を摩擦搬送ロールおよび光反射防止膜製造用・塗膜はく離防止用の穴あけ転造ロール表面として利用するため、本研究では、突起物の強度の向上を試みた。その結果、突起物の焼入れまたはプラズマ窒化により突起物の押しつけおよびスクラッチ強度が約2倍に増加すること、プラズマ窒化した突起物は高分子板への静的および繰返し押しつけによっても先端が変形しにくいこと、突起物にSiC薄膜をスパッタコーティングすると、高分子膜の離型性が向上することを明らかにした。
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