| 研究課題/領域番号 |
24560170
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 八戸工業大学 (2014)
豊橋技術科学大学 (2012-2013) |
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研究代表者 |
武藤 一夫 八戸工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (90530874)
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| 研究分担者 |
川島 貴弘 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50378270)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2012年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | アコースティックエミッション / ディジタル検出 / カンチレバーアレイ / ピエゾ抵抗素子 / 集積化センサ / アコースティック・エミッション / MEMS / デジタル検出 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，MEMS技術を用いてSOI基板上にAEの周波数特性を広帯域でデジタル的に分解・検出可能とするための機械構造体および電気的検出素子を集積化したデジタル式AEセンサの開発を行っている．本研究では，カンチレバーの設計，試作，共振特性について述べ，電気的検出部となるピエゾ抵抗素子の形成および電気的特性評価を行い，デジタル式AEセンサの試作を行った．
本センサを用いることで，自動車，工作機械における軸受の初期破損や余寿命の推定，塑性変形中の各種金属材料のモニタリングをIn Situ かつ非破壊で実現することが期待できる．
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