非共振型フラットパネル非接触搬送法の開発

• 研究課題/領域番号: 24560171
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 豊田工業大学
• 研究代表者: 古谷 克司 豊田工業大学, 工学部, 教授 (00238685)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円); 2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
• キーワード: 空気流 / 非接触 / 薄板 / 搬送 / 多相 / 空気圧 / 進行波

研究成果の概要

液晶ディスプレイなどのガラス基板や半導体ウエハを清浄に保ちつつ搬送するためには，非接触搬送法が必要となる．そこで本研究では，多相の空気流路から空気を吐出・吸引することで被搬送物をわずかに傾けるとともに，空気流を裏面に当てることで駆動力を発生させる．被搬送物の位置に応じて空気流を与えるパターンをシフトすることで，連続的に搬送できた．15mmピッチで配置した48相のオリフィス絞りから空気流を供給した．寸法90mm×100mm×2mmで139gのステンレス板に対する加速度は15mm/s/sであった．

研究成果

• [雑誌論文] 多相空気流や超音波浮揚による薄板の非接触搬送 (2019)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司
  • 雑誌名: 超音波TECHNO 巻: 31 号: 6 ページ: 97-100
• [雑誌論文] Conveyance Method of Thin Plate by Using Multiple-phase Air Flow (2018)
  • 著者名/発表者名: Katsushi Furutani, Yusuke Nakamura, Akira Urita
  • 雑誌名: Electronics and Communications in Japan 巻: 101 号: 2 ページ: 51-60
  • DOI: 10.1002/ecj.12044
  • NAID: 210000173287
  • 査読あり
• [雑誌論文] 多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法 (2017)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司, 中村祐介, 瓜田明
  • 雑誌名: 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 巻: 137 号: 9 ページ: 1145-1152
  • DOI: 10.1541/ieejeiss.137.1145
  • NAID: 130006038810
  • ISSN: 0385-4221, 1348-8155
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超音波近接場浮揚を利用した2次元搬送法における駆動力の発生メカニズム (2015)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司, 小野政貴
  • 雑誌名: 日本AEM学会誌 巻: 23 ページ: 414-421
  • NAID: 130005098689
  • 査読あり
• [学会発表] Non-contact transfer method of thin plate using multiphase air flow (2017)
  • 著者名/発表者名: Katsushi Furutani, Yusuke Nakamura, Akira Urita
  • 学会等名: euspen's 17th International Conference and Exhibition, Hannover, Germany
• [学会発表] 多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法(第2報)双方向への搬送 (2017)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司, 中村祐介, 瓜田明
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 横浜市港北区
• [学会発表] 多相空気流を用いた薄板の非接触双方向搬送法 (2016)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司, 中村祐介, 瓜田明
  • 学会等名: 第21回知能メカトロニクスワークショップ, 北海道, 函館市
• [学会発表] 多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法の基本構想 (2015)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司，中村祐介
  • 学会等名: 第27回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
  • 発表場所: 長崎県佐世保市・ハウステンボス
  • 年月日: 2015-05-14 – 2015-05-15
• [学会発表] 多相空気流を用いた薄板の非接触搬送(第1報)基本構想 (2015)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司，中村祐介
  • 学会等名: 2015年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京都文京区・東洋大学
  • 年月日: 2015-03-17 – 2015-03-19
• [学会発表] Development of Transfer Device with Damper for Suppression of Reflected Wave (2012)
  • 著者名/発表者名: Katsushi Furutani
  • 学会等名: 5th International Conference on Positioning Technology
  • 発表場所: Taiwan
• [学会発表] Mechanism of Driving Force Generation in Two-Dimensional Non-Contact Transfer Method by Near-Field Ultrasonic Levitation (2012)
  • 著者名/発表者名: Katsushi Furutani
  • 学会等名: 27th Annual Meeting of American Society for Precision Engineering
  • 発表場所: San Diego, CA, USA
• [学会発表] アザラシ型機構による電極送り機構を用いた複数の微細穴の同時放電加工 (2012)
  • 著者名/発表者名: 古谷克司
  • 学会等名: 電気加工学会全国大会(2012)
  • 発表場所: 北九州市小倉北区