| 研究課題/領域番号 |
24560237
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
生田 竜也 九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 技術専門職員 (70532331)
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| 研究分担者 |
高橋 厚史 九州大学, 大学院工学研究院, 教授 (10243924)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2013年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2012年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | ナノセンサ / 走査型熱顕微鏡 / カーボンナノチューブ / 界面熱抵抗 / マイクロ・ナノスケール伝熱 / ナノホットフィルムセンサ / カーボンナノチューブプローブ / 熱計測 / ナノホットフィルム / 集束イオンビーム |
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| 研究成果の概要 |
申請者らによって開発されてきたナノ白金熱線センサを基盤として、ナノスケールでの汎用的熱計測技術を構築すべく、まず、CNTをプローブとした走査型熱顕微鏡を開発した。最大の問題点である接触熱抵抗をキャンセルして0.5Kの精度で表面温度を測ることに成功し、CNTの強度から50nm程度の空間精度を維持できた。次に、ナノ構造と熱伝導率を比較可能とするシステムについては、集束イオンビーム照射によってCNTの構造を変化させながら熱伝導率を計測するシステムを開発した。また、白金薄膜を懸架状態にせずに利用する手法についても検討し、表面温度に加えてSi/SiO2間の界面熱抵抗を測定することができた。
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