| 研究課題/領域番号 |
24560289
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
|
|---|
| 研究機関 | 金沢大学 |
|---|
研究代表者 |
安達 正明 金沢大学, 機械工学系, 教授 (50212519)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2013年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2012年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
|
|---|
| キーワード | ３次元形状計測 / スペックル干渉計 / 位相抽出 / ランダム振動 / 波長可変レーザー / 位相シフト / 干渉計測 / 空気擾乱 / 振動 / 波長走査 / スペックル / 位相差マップ / 距離計測 / スペックル干渉 / 計測工学 / ３次元形状 / 半導体レーザ |
|---|
| 研究成果の概要 |
電子基板に対して波長可変レーザー光を照射し，スペックル干渉計を通して多数の干渉像を取込み，微小振動が残る環境下でも３次元形状を計測できる方法を開発した．ランダム振動環境下で干渉像を多数枚取り込むと，画像間の位相シフト量はランダムな変化となる．画像内の異なる２画素における光強度の最大値・最小値を利用した２回規格化からこの位相シフト量を計算し，取り込んでいる光強度の変化から最小二乗近似で干渉像の位相値をカメラの全画素で計算する．実験ではレーザー波長を７種変えて全体で140枚の干渉像を取込み，６種の波長変更に伴う６種の位相変化分布から電子基板の３次元形状を計算した．
|
