| 研究課題/領域番号 |
24560363
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 宇都宮大学 |
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研究代表者 |
石井 清 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30134258)
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| 研究分担者 |
佐久間 洋志 宇都宮大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40375522)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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| キーワード | 磁性微粒子 / 鉄微粒子 / 微粒子成長 / ガスフロースパッタリング / スパッタリング / 微粒子 / ガスフロースパッタ / 国際情報交換 |
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| 研究成果の概要 |
ガスフロースパッタ法を用いると、80nm程度の立方体や小さな粒子が凝集した新規な形状をしたFe粒子が作製できる。その成長メカニズムを明らかにし、再現制良く作り分けできれば、様々なとことに応用することが可能である。本研究では、実際にガスフロースパッタほうにより様々な条件においてどのような形態の粒子が成長するか詳細に調べるとともに、粒子成長に大きな影響をもつ移送ガスの流れについて計算機シミュレーションにより調べ、両者の結果を対応付けることにより、粒子成長メカニズムを考察した。その結果、かなりの精度により形状制御が可能になった。
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