研究課題/領域番号 |
24560414
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 上智大学 |
研究代表者 |
和保 孝夫 上智大学, 理工学部, 教授 (90317511)
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研究協力者 |
下村 和彦 上智大学, 理工学部, 教授
PROST Werner Duisburg-Essen大学
道又 賢司 元上智大学大学院
松芝 亮 元上智大学大学院
小原 一馬 上智大学大学院
島本 一成 上智大学大学院
山崎 雄介 上智大学大学院
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研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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配分額 *注記 |
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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キーワード | ナノワイヤ / ΔΣ変調器 / A/D変換器 / ラボオンチップ / センサ / 逐次比較A/D変換器 / CMOS / 化合物半導体 / 異種技術集積 / 国際情報交換 / ドイツ / 誘電泳動 / 弱反転 / 逐次比較 |
研究成果の概要 |
ダイナミック共通ソース増幅器を用いた積分器を新たに考案し、それを利用した2次ΔΣ変調器を設計した。0.35ミクロンプロセスで試作/評価した結果、従来水準を上回る低消費電力動作が実現できたことが分かった。帯域は20kHz、分解能は11.5ビットであった。さらに、電界支援自己整合プロセスを用いて、InAsナノワイヤとΔΣ変調器を同一Si基板上に集積化したラボオンチップを作製した。アセトン、エタノール、純水などに対して、それぞれに特徴的なナノワイヤの抵抗変化を観測することに成功した。これらの結果から、高感度/低消費電力センサチップの実現可能性を明らかした。
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