研究課題
基盤研究(C)
光周波数が掃引されたレーザ光源を用いるFMCWセンシングシステムを用いて、距離測定精度１００μｍの光距離センサを開発した。本システムでは、レーザ光の光周波数掃引の非線形性により距離測定精度が大きく劣化する。そこで、非線形性の影響を除去できる同期サンプリング法を開発するとともに、測定信号に補間法を適用することにより、標準偏差１０μｍ以下の距離測定精度を達成した。このシステムを用いて工作加工物や硬貨の形状計測を行い、段差１５０μｍ以下の形状計測が可能であることを実証した。また、光周波数掃引が線形となるようにレーザ光源の変調波形を補正する方法を考案し、その有効性を実証した。
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ARPN Journal of Engineering and Applied Sciences
