ＤＢＴＴ周辺のＳｉシャッフル転位とグライド転位の本性と破壊靭性値の関係

• 研究課題/領域番号: 24560803
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 金属物性
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 坂 公恭 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 名誉教授 (90023267)
• 研究分担者: 佐々木 勝寛 名古屋大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00211938)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円); 2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円); 2012年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
• キーワード: 破壊靭性値 / 格子欠陥

研究成果の概要

Siは半導体デバイスに広く用いられている。しかし、最近、長時間、応力下で使用すると、これまでの経験では説明ができない現象が観察されている。すなわち、①疲労の発現、②100℃近傍での破壊靭性値の向上などである。これらの現象には、機械的性質を担う転位が関与しているはずである。そこで、①100～400℃の中温度におけるジグザグ状のshuffle-set転位の本性を明らかした。②このようなshuffle-set 転位の変態が破壊靭性値の向上にどのように関連しているかを明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] Long-term natural ageing of a dissociated dislocation in a Cu-13.43 at.% Al alloy (2014)
  • 著者名/発表者名: Hiroyasu Saka
  • 雑誌名: Philosophical Magazine Letters 巻: 94 号: 7 ページ: 455-459
  • DOI: 10.1080/09500839.2014.926033
  • 査読あり
• [雑誌論文] その場加熱実験と環境電子顕微鏡法 (2014)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛、荒井重勇、着本享、坂 公恭
  • 雑誌名: 軽金属 巻: 64 ページ: 489-498
  • NAID: 130008052411
  • 査読あり
• [雑誌論文] Inclination of a threading dislocation in an epilayer of 4H-SiC (2014)
  • 著者名/発表者名: Hiroyasu Saka, Hiroki Watanabe, Yasuo Kitou, Hiroyuki Kondo, Fusao Hirose and Shoichi Onda
  • 雑誌名: Japanese Journal of applied physics 巻: 53
  • NAID: 210000144564
  • 査読あり
• [雑誌論文] Transmission electron microscope study of a threading dislocation with b=[0001]+<1-100> and its effect on leakage in a 4H-SiC MOSFET (2013)
  • 著者名/発表者名: Onda, Shoichi; Watanabe, Hiroki; Kito, Yasuo; Kondo, Hiroyuki; Uehigashi, Hideyuki; Hosokawa, Norikazu; Hisada, Yoshiyuki; Shiraishi, Kenji; Saka, Hiroyasu
  • 雑誌名: Philosophical Magazine Letters 巻: 93 号: 8 ページ: 439-447
  • DOI: 10.1080/09500839.2013.798047
  • 査読あり
• [雑誌論文] The dissociation modes of threading screw dislocations in 4H-SiC (2013)
  • 著者名/発表者名: Onda, Shoichi; Watanabe, Hiroki; Kitou, Yasuo; Kondo, Hiroyuki; Uehigashi, Hideyuki; Hisada, Yoshiki; Shiraishi, Kenji; Saka, Hiroya
  • 雑誌名: Philosophical Magazine Letters 巻: 93 号: 10 ページ: 591-600
  • DOI: 10.1080/09500839.2013.826395
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electron microscope study of dislocations introduced by deformation in a Si between 77 and 873 K (2013)
  • 著者名/発表者名: T.Okuno and H.Saka
  • 雑誌名: J.Materials Science 巻: 48 号: 1 ページ: 115-124
  • DOI: 10.1007/s10853-012-6860-x
  • 査読あり
• [学会発表] Si単結晶の曲げおよび疲労挙動 (2014)
  • 著者名/発表者名: 倉田和也、高木誠、松室昭仁、岩田博之、坂公恭
  • 学会等名: 精密工学会春季春期大会講演会
  • 発表場所: 東京大学
• [学会発表] 種々の環境下におけるSi単結晶のマイクロトライボロジー (2014)
  • 著者名/発表者名: 水流一平、高木誠、松室昭仁、岩田博之、坂公恭
  • 学会等名: 精密工学会春季春期大会講演会
  • 発表場所: 東京大学