| 研究課題/領域番号 |
24651155
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
田中 秀治 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00312611)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2012年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | ホットワイヤ / 原子状水素 / 化学的気相堆積 / セレン化亜鉛 / ホットワイヤ― / マイクロセンサー |
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| 研究概要 |
赤外線窓材であるZnSeを低温高速成膜するために，2000℃程度のホットワイヤ（HW）で生成した原子状水素で有機アルキル金属を分解する成膜法：HW-MOCVDを研究した。HWはプラズマと比較して大量の原子状水素を生成できるが，タングステンのHWが原料ガスや基板からの脱離ガスに晒されると，反応によって傷んだり，酸化して蒸発したりする。また，HWからの輻射によって基板が過熱される。このような問題を解決する「リモート型HW装置」を新たに開発した。開発した装置の基本特性を取得し，意図した通りに動作することを確認した。ZnSeのソースとしてジエチルZnとジメチルSeを選択し，ZnSeの成膜を確認した。
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