| 研究課題/領域番号 |
24651157
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
桑野 博喜 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50361118)
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| 研究分担者 |
原 基揚 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00417966)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2012年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| キーワード | マイクロファブリケーション / MEMS / FIB / イオン液体 / 集束イオンビーム / マイクロイオン源アレイ |
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| 研究概要 |
成果を列挙する。
１）500μm間隔で25(5X5)個の先端半径50nm以下、エミッタ半径50μm、高さ150μmのマルチマイクロエミッタを作製するマイクロマシニング技術を開発した。２）作製したマルチマイクロエミッタを用いてイオン液体（１エチル３メチルイミダゾィウムテトラフルオロボレート([EMIM]-[BF4])からイオンビームを形成することに成功した。３）マルチマイクロエミッタから引き出されたマイクロイオンビームによりSi基板が化学的にエッチングされることを確認した。
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