単電子・スピンデバイスの高温動作を可能にするためのナノフリーザ基板の開発

• 研究課題/領域番号: 24651168
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 池田 浩也 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (00262882)
• 研究分担者: 早川 泰弘 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (00115453) ; 下村 勝 静岡大学, 工学研究科, 准教授 (20292279)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2012年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
• キーワード: 熱電変換 / ベルチェ冷却 / ナノワイヤ / 量子効果デバイス / ペルチェ冷却

研究成果の概要

本研究は，量子効果デバイスを高温動作できるようにするために，熱電変換現象を利用した冷却基板（ナノフリーザ基板）の開発を目指して行われた．冷却機能の高効率化が期待できるシリコン・ゲルマニウム混合材料について，熱電変換の重要な物性値であるゼーベック係数（温度差を１℃与えたときに発生する熱起電力）を調べた．ゼーベック係数は，電子が寄与する成分と格子振動が寄与する成分があるが，格子振動による成分を決定する物性的要因を明らかにした．また，実際のデバイスを作製するためのプロセス技術を提案し，その基礎データを収集した．

研究成果

• [雑誌論文] 高効率熱電変換デバイス用SiGe混晶のゼーベック係数 (2015)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，ベラッパン・マニムス，ムスサミ・オンプラカシュ，鈴木悠平，ファイズ・サレ，ムカンナン・アリバナンドハン，鎌倉良成，早川泰弘
  • 雑誌名: 信学技報 巻: ED2014-139, SDM2014-148 ページ: 7-11
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] High power factor of Ga-doped compositionally homogeneous Si0.68Ge0.32 bulk crystal grown by the vertical temperature gradient freezing method (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Omprakash, M. Arivanandhan, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, D. Aswal, S. Bhattacharya, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 雑誌名: Journal of Crystal Growth & Design 巻: 15 号: 3 ページ: 1380-1388
  • DOI: 10.1021/cg501776h
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Construction of a novel method of measuring thermal conductivity for nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, S. Yoshida, Y. Suzuki, V. Maninuthu, F. Salleh, F. Kuwahara, M. Shimomura, K. Murakami
  • 雑誌名: MAKARA Journal of Technology Series 巻: 19
  • 査読あり
• [雑誌論文] Phonon-drag contribution to Seebeck coefficient of Ge-on-insulator substrate fabricated by wafer bonding process (2015)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, S. Yoshida, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 雑誌名: MAKARA Journal of Technology Series 巻: 19
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Seebeck coefficient of SOI layer induced by phonon transport (2015)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 雑誌名: MAKARA Journal of Technology Series 巻: 19
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Study on phonon drag effect and phonon transport in thin Si-on-insulator layers (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, F. Salleh
  • 雑誌名: Advanced Materials Research 巻: in press
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Phonon-drag contribution to Seebeck coefficient of Ge- and Si-on-insulator layers (2015)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, M. Omprakash, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 雑誌名: Advanced Materials Research 巻: in press
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Phonon drag effect on Seebeck coefficient of ultrathin P-doped Si-on-insulator layers (2014)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 105 号: 10
  • DOI: 10.1063/1.4895470
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 極薄SOI膜のゼーベック係数制御とナノ構造熱電特性測定技術の構築 (2014)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ
  • 雑誌名: 信学技報 巻: ED2013-137, SDM2013-152 ページ: 31-35
• [雑誌論文] Analysis of dissolution and growth process of SiGe alloy semiconductor based on penetrated X-ray intensities (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Omprakash, M. Arivanandhan, R. Arun Kumar, H. Morii, T. Aoki, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, S. Moorthy Babu, Y. Inatomi and Y. Hayakawa
  • 雑誌名: J. Alloy and Compounds 巻: 590 ページ: 96-101
  • DOI: 10.1016/j.jallcom.2013.12.093
  • 査読あり
• [雑誌論文] Variation of Seebeck Coefficient in Ultrathin Si Layer by Tuning Its Fermi Energy (2013)
  • 著者名/発表者名: Faiz Salleh, Yuhei Suzuki, Kazutoshi Miwa, Hiroya Ikeda
  • 雑誌名: Proceeding of 13th International Conference on Quality in Research, IEEE 巻: 1441-1284 ページ: 47-50
  • DOI: 10.1109/qir.2013.6632534
  • 査読あり
• [雑誌論文] KFM Evaluation of Seebeck Coefficient in Thin SOI Layers (2013)
  • 著者名/発表者名: Hiroya Ikeda, Yuhei Suzuki, Kazutoshi Miwa, Faiz Salleh
  • 雑誌名: Proceeding of 13^<th> International Conference on Quality in Research, IEEE 巻: 1441-1284 ページ: 35-38
  • DOI: 10.1109/qir.2013.6632531
  • 査読あり
• [雑誌論文] Modulation of Seebeck Coefficient of Si-on-Insulator Layer Induced by Bias-Injected Carriers (2013)
  • 著者名/発表者名: Faiz Salleh, Yuhei Suzuki, Kazutoshi Miwa, Hiroya Ikeda
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 103 号: 6
  • DOI: 10.1063/1.4818152
  • 査読あり
• [雑誌論文] 収束イオンビームを用いたPドープSOI基板に対するGaイオン注入とそのゼーベック係数 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ，下村勝，石田明広，池田浩也
  • 雑誌名: 信学技報 巻: ED2013-55, SDM2013-29 ページ: 33-37
• [雑誌論文] Development of Seebeck-Coefficient Measurement System Using Kelvin-Probe Microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazutoshi Miwa, Faiz Salleh, Hiroya Ikeda
  • 雑誌名: MAKAR. A Journal of Technology Series 巻: 17 号: 1 ページ: 17-20
  • DOI: 10.7454/mst.v17i1.1922
  • 査読あり
• [雑誌論文] The dissolution process of Si into Ge melt and SiGe growth mechanism by x-ray penetration method (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Omprakash, M. Arivanandhan, R.A. Kumar, H. Morii, T. Aoki, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 雑誌名: 信学技報 巻: ED2013-55, SDM2013-29 ページ: 27-31
  • NAID: 110009770591
• [雑誌論文] 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ (2013)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ
  • 雑誌名: 信学技報 巻: ED2012-129, SDM2012-158 ページ: 7-11
• [雑誌論文] Variation of SOI Seebeck coefficient by applying an external bias (2012)
  • 著者名/発表者名: Faiz Salleh, Kazutoshi Miwa, Hiroya Ikeda
  • 雑誌名: Journal of Advanced Research in Physics 巻: 3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Improvement in measurement system of Seebeck coefficient by KFM (2012)
  • 著者名/発表者名: Kazutoshi Miwa, Faiz Salleh, Hiroya Ikeda
  • 雑誌名: Journal of Advanced Research in Physics 巻: 3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Construction of Seebeck-Coefficient Measurement by Kelvin-Probe Force Microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: Hiroya Ikeda, Kazutoshi Miwa, Faiz Salleh
  • 雑誌名: AIP Conference Proceeding of 9th European Conference on Thermoelectrics (AIP) 巻: 1449 ページ: 377-380
  • DOI: 10.1063/1.4731575
• [雑誌論文] Theoretical Study on the Stability of the Single-Electron-Pump Refrigerator with Respect to Thermal and Dimensional Fluctuations (2012)
  • 著者名/発表者名: Hiroya Ikeda, Faiz Salleh
  • 雑誌名: IEICE Transactions on Electronics 巻: E95.C 号: 5 ページ: 924-927
  • DOI: 10.1587/transele.E95.C.924
  • NAID: 130002135546
  • ISSN: 0916-8524, 1745-1353
  • 査読あり
• [雑誌論文] Well-oriented pyrazine lines and arrays on Si(001) formed by thermal activation of substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: Takuma Omiya, Hirokazu Yokohara, Masaru Shimomura
  • 雑誌名: Journal of Physical Chemistry C 巻: 116 号: 18 ページ: 9980-9984
  • DOI: 10.1021/jp300101t
  • 査読あり
• [雑誌論文] Adsorption of pyrazine on a Si(001) surface partially covered with an indium dimer structure (2012)
  • 著者名/発表者名: Masaru Shimomura, Chihiro Kunihara
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51 号: 5R ページ: 055703-055703
  • DOI: 10.1143/jjap.51.055703
  • NAID: 40019280529
  • 査読あり
• [学会発表] Seebeck coefficient of poly-crystalline SiGe and its phonon-drag contribution (2015)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, M. Omprakash, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 19th National Seminar on Crystal Growth
  • 発表場所: Chennai, India
  • 年月日: 2015-03-12 – 2015-03-14
• [学会発表] 基板貼り合わせ法で作製したp型GOI層のゼーベック係数 (2015)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，ベラッパン・マニムス，ムスサミ・オムプラカシュ，鈴木悠平，ファイズ・サレ，ムカンナン・アリバナンドハン，鎌倉良成，早川泰弘
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学（神奈川県，平塚市）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] 共ドープナノ構造SOI層のゼーベック係数に関する考察 (2015)
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，ファイズ・サレ，下村勝，鎌倉良成，池田浩也
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学（神奈川県，平塚市）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] Effect of phonon boundary scattering on Seebeck coefficient in silicon thin films (2015)
  • 著者名/発表者名: Indra Nur Adisusilo, Faiz Salleh, Hiroya Ikeda, Yoshinari Kamakura
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学（神奈川県，平塚市）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] Thermoelectric properties of compositionally homogeneous p and n-type SiGe bulk crystals (2015)
  • 著者名/発表者名: M.Omprakash, M.Arivanandhan, T.Koyama, Y.Momose, H.Ikeda, H.Tatsuoka, Y.Okano, T.Ozawa, Y. Inatomi, S. Bhattacharya, D.K. Aswal, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学（神奈川県，平塚市）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] 高効率熱電変換デバイス用SiGe混晶のゼーベック係数 (2015)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，ベラッパン・マニムス，ムスサミ・オンプラカシュ，鈴木悠平，ファイズ・サレ，ムカンナン・アリバナンドハン，鎌倉良成，早川泰弘
  • 学会等名: 電子情報通信学会ED研・SDM研合同２月研究会
  • 発表場所: 北海道大学（北海道，札幌市）
  • 年月日: 2015-02-05 – 2015-02-06
• [学会発表] Contribution of phonon and carrier transport to Seebeck coefficient in ultrashin SOI layer (2015)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 学会等名: 2015 International Symposium Toward the Future of Advanced Researches
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2015-01-27 – 2015-01-28
• [学会発表] Phonon-drag contribution to Seebeck coefficient of p-type Si, Ge and SiGe (2015)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, M. Omprakash, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 2015 International Symposium Toward the Future of Advanced Researches
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2015-01-27 – 2015-01-28
• [学会発表] Growth of compositionally homogeneous p-type SiGe bulk and thermoelectric properties (2015)
  • 著者名/発表者名: M.Omprakash, M.Arivanandhan, T.Koyama, Y.Momose, H.Ikeda, H.Tatsuoka, D.K. Aswal, S. Bhattacharya, Y.Okano, T.Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 2015 International Symposium Toward the Future of Advanced Researches
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2015-01-27 – 2015-01-28
• [学会発表] Construction of a novel method of measuring thermal conductivity for nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, S. Yoshida, Y. Suzuki, V. Maninuthu, F. Salleh, F. Kuwahara, M. Shimomura, K. Murakami
  • 学会等名: 2nd International Conference on Nano Electronics Research and Education (ICNERE2014)
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2014-11-24 – 2014-11-26
• [学会発表] Phonon-drag contribution to Seebeck coefficient of Ge-on-insulator substrate fabricated by wafer bonding process (2014)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, S. Yoshida, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 2nd International Conference on Nano Electronics Research and Education (ICNERE2014)
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2014-11-24 – 2014-11-26
• [学会発表] Seebeck coefficient of SOI layer induced by phonon transport (2014)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 学会等名: 2nd International Conference on Nano Electronics Research and Education (ICNERE2014)
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2014-11-24 – 2014-11-26
• [学会発表] Contribution of phonon transport to Seebeck coefficient of P-doped SOI layer (2014)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 学会等名: 16th Takayanagi Memorial Symposium
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2014-11-11 – 2014-11-12
• [学会発表] Study on Seebeck coefficient of germanium-on-insulator for high-sensitive infrared photodetectors (2014)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, S. Yoshida, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 16th Takayanagi Memorial Symposium
  • 発表場所: Shizuoka Univ.（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2014-11-11 – 2014-11-12
• [学会発表] Thermoelectric characteristics of Si- and Ge-on-insulator layers for predicting those of SiGe nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, S. Yoshida, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 7th Forum on the Science and Technology of Silicon Materials
  • 発表場所: Congress Center（Hamamatsu, Shizuoka）
  • 年月日: 2014-10-19 – 2014-10-22
• [学会発表] Phonon drag effect on Seebeck coefficient in thin Si-on-insulator layer (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, T. Oda, Y. Suzuki, F. Salleh, Y. Kamakura
  • 学会等名: 12th European Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Madrid, Spain
  • 年月日: 2014-09-24 – 2014-09-26
• [学会発表] Seebeck coefficient of thin SOI layer co-doped with Ga and P atoms (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Suzuki, F. Salleh, M. Shimomura, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 学会等名: 12th European Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Madrid, Spain
  • 年月日: 2014-09-24 – 2014-09-26
• [学会発表] Thermoelectric properties of compositionally homogeneous Ga-doped SiGe bulk crystals (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Hayakawa, M. Omprakash, M. Arivanandhan, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu
  • 学会等名: 12th European Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Madrid, Spain
  • 年月日: 2014-09-24 – 2014-09-26
• [学会発表] PドープSOI層のゼーベック係数におけるフォノンドラッグ効果 (2014)
  • 著者名/発表者名: ファイズ・サレ，織田琢郎，鈴木悠平，鎌倉良成，池田浩也
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学（北海道，札幌市）
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] Phonon-drag contribution to Seebeck coefficient of Ge- and Si-on-insulator layers (2014)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, S. Yoshida, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 13th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2014)
  • 発表場所: Riga, Latvia
  • 年月日: 2014-09-10 – 2014-09-12
• [学会発表] Study on phonon drag effect and phonon transport in thin Si-on-insulator layers (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, F. Salleh
  • 学会等名: 13th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2014)
  • 発表場所: Riga, Latvia
  • 年月日: 2014-09-10 – 2014-09-12
• [学会発表] In-situ observation of dissolution and growth processes of Si1-xGex under different temperature gradients (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Omprakash, M. Arivanandhan, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 13th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2014)
  • 発表場所: Riga, Latvia
  • 年月日: 2014-09-10 – 2014-09-12
• [学会発表] Seebeck-coefficient control of ultrathin SOI layers and its novel characterization technique (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, F. Salleh
  • 学会等名: Peradeniya University International Research Sessions (iPURSE)
  • 発表場所: Candy, Sri Lankan
  • 年月日: 2014-07-04 – 2014-07-05
  • 招待講演
• [学会発表] Contribution of phonon-drag effect to Seebeck coefficient of ultrathin Si-on-insulator layers (2014)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, T. Oda, Y. Suzuki, Y. Kamakura, H. Ikeda
  • 学会等名: 2014 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD2014)
  • 発表場所: Kanazawa Bunka Hall（Kanazawa, Ishikawa）
  • 年月日: 2014-07-01 – 2014-07-03
• [学会発表] Seebeck coefficient of germanium-on-insulator for high-sensitive infrared photodetectors (2014)
  • 著者名/発表者名: V. Manimuthu, S. Yoshida, Y. Suzuki, F. Salleh, M. Arivanandhan, Y. Kamakura, Y. Hayakawa, H. Ikeda
  • 学会等名: 2014 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD2014)
  • 発表場所: Kanazawa Bunka Hall（Kanazawa, Ishikawa）
  • 年月日: 2014-07-01 – 2014-07-03
• [学会発表] 極薄SOI膜のゼーベック係数制御とナノ構造熱電特性測定技術の構築 (2014)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也
  • 学会等名: 奈良先端科学技術大学院大学研究会
  • 発表場所: 奈良先端科学技術大学院大学（奈良県，奈良市）
  • 年月日: 2014-06-13
  • 招待講演
• [学会発表] PドープSOI層のゼーベック係数に与えるGaイオン注入の影響 (2014)
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，ファイズ・サレ，池田浩也
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学（神奈川）
• [学会発表] 極薄SOI層のゼーベック係数におけるフォノンドラッグの影響 (2014)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，織田琢郎，鈴木悠平，ファイズ・サレ
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学（神奈川）
• [学会発表] Thermoelectric properties of Ga doped SiGe bulk crystal (2014)
  • 著者名/発表者名: M.Omprakash, M.Arivanandhan, P.Anandan, H.Morii, T.AokiI, T.Koyama, Y.Momose, H.Ikeda, H.Tatsuoka, Y.Okano, T.Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学（神奈川）
• [学会発表] 極薄SOI膜のゼーベック係数制御とナノ構造熱電特性測定技術の構築 (2014)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ
  • 学会等名: 電子情報通信学会ED研・SDM研合同２月研究会
  • 発表場所: 北海道大学（北海道）
• [学会発表] Gaイオン注入によるPドープ薄膜SOI層のゼーベック係数の変化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，ファイズ・サレ，池田浩也
  • 学会等名: 表面科学会中部支部学術講演会（若手講演会）
  • 発表場所: 名古屋工業大学（愛知）
• [学会発表] Seebeck-coefficient control of Si nanostructures and its novel characterization technique (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, F. Salleh
  • 学会等名: 8th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC2013)
  • 発表場所: Las Vegas（USA）
  • 招待講演
• [学会発表] Influence of bias-injected carriers on Seebeck coefficient in ultrathin Si layer (2013)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, Y. Suzuki, H. Ikeda
  • 学会等名: 3rd Shisuoka University International Symposium
  • 発表場所: グランシップ（静岡）
• [学会発表] Estimation of Seebeck coefficient of thin Si layer with spatially distributed carriers (2013)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, Y. Suzuki, H. Ikeda
  • 学会等名: 15th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium
  • 発表場所: 静岡大学（静岡）
• [学会発表] Temperature gradient effect on dissolution and growth process of SiGe bulk crystal (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Omprakash, M. Arivanandhan, R.A. Kumar, H. Morii, T. Aoki, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 15th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium
  • 発表場所: 静岡大学（静岡）
• [学会発表] Seebeck coefficient of co-doped Si nanowires for high-sensitive thermopile infrared photodetector (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Suzuki, F. Salleh, M. Shimomura, A. Ishida, H. Ikeda
  • 学会等名: 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: ロイトン札幌（北海道）
• [学会発表] Seebeck coefficient of P and Ga co-doped Si for fabrication of Si nanowire thermopile (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Suzuki, F. Salleh, M. Shimomura, A. Ishida, H. Ikeda
  • 学会等名: 2013 Korean-Japanese Student Workshop
  • 発表場所: 静岡大学（静岡）
• [学会発表] 収束イオンビームを用いたPドープSOI基板へのGaイオン注入とそのゼーベック係数 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，ファイズ・サレ，下村勝，石田明広，池田浩也
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学（京都）
• [学会発表] Experimental and theoretical Seebeck coefficinets of SOI layer including bias-injectied carriers (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, F. Salleh
  • 学会等名: 12th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2013)
  • 発表場所: Sofia（Bulgaria）
• [学会発表] Gallium implantation into phosphorus-doped SOI layer by focused ion beam and its Seebeck coefficinet (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Suzuki, F. Salleh, M. Shimomura, A. Ishida, H. Ikeda
  • 学会等名: 12th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2013)
  • 発表場所: Sofia（Bulgaria）
• [学会発表] Seebeck coefficient of SOI layer with spatially-distributed carriers by applied external bias (2013)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, Y. Suzuki, K. Miwa, H. Ikeda
  • 学会等名: 32th International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: 神戸国際会議場（兵庫）
• [学会発表] Focused ion beam Ga implantation into P-doped SOI layer and its Seebeck coefficient (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh, M. Shimomura, A. Ishida, H. Ikeda
  • 学会等名: 32th International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: 神戸国際会議場（兵庫）
• [学会発表] Investigation on growth mechanism of SiGe by X-ray penetration method (2013)
  • 著者名/発表者名: O. Muthusamy, A. Mukannnan, AR. Kumar, H. Morii, T. Aoki, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, M.S. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 32th International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: 神戸国際会議場（兵庫）
• [学会発表] KFM evaluation of Seebeck coefficient in thin SOI layer (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh
  • 学会等名: The 13th International Conference on Quality in Research
  • 発表場所: Yogyakarta（Indonesia）
• [学会発表] Variation of Seebeck coefficient in ultrathin Si layer by tuning its Fermi energy (2013)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, Y. Suzuki, K. Miwa, H. Ikeda
  • 学会等名: The 13th International Conference on Quality in Research
  • 発表場所: Yogyakarta（Indonesia）
• [学会発表] 収束イオンビームを用いたPドープSOI基板に対するGaイオン注入とそのゼーベック係数 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ，下村勝，石田明広，池田浩也
  • 学会等名: 電子情報通信学会ED研・CPM研・SDM研合同５月研究会
  • 発表場所: 静岡大学（静岡）
• [学会発表] The dissolution process of Si into Ge melt and SiGe growth mmechanism by x-ray penetration method (2013)
  • 著者名/発表者名: M.Omprakash, M.Arivanandhan, R.A.Kumar, H.Morii, T.AokiI, T.Koyama, Y.Momose, H.Ikeda, H.Tatsuoka, Y.Okano, T.Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 電子情報通信学会ED研・CPM研・SDM研合同５月研究会
  • 発表場所: 静岡大学（静岡）
• [学会発表] KFMによるSOI層のゼーベック係数測定 (2013)
  • 著者名/発表者名: 三輪一聡，鈴木悠平，ファイズ・サレ，池田浩也
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川）
• [学会発表] 外部電圧印加に伴うキャリア注入によるSOI層のゼーベック係数制御 (2013)
  • 著者名/発表者名: ファイズ・サレ，鈴木悠平，三輪一聡，池田浩也
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川）
• [学会発表] Effect of solute transport on dissolution of Si into Ge melt and growth of SiGe (2013)
  • 著者名/発表者名: M.Omprakash, M.Arivanandhan, R.A.Kumar, H.Morii, T.AokiI, T.Koyama, Y.Momose, H.Ikeda, H.Tatsuoka, Y.Okano, T.Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川）
• [学会発表] Seebeck coefficient of Si nanostructures and its new characterization method (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh
  • 学会等名: International Conference on Nanoscience & Nanotechnology
  • 発表場所: SRM University (Chennai, India)
  • 招待講演
• [学会発表] Behavior of nitrogen-containing molecules on Si(001) and Si(111) surfaces (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Shimomura, K. Ota, T. Omiya, T. Kiyose
  • 学会等名: International Conference on Nanoscience & Nanotechnology
  • 発表場所: SRM University (Chennai, India)
  • 招待講演
• [学会発表] シリコンナノ構造の熱電変換特性と測定技術の構築 (2013)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ
  • 学会等名: 応用物理学会関西支部セミナー
  • 発表場所: 大阪大学（大阪）
  • 招待講演
• [学会発表] 外部電圧印加に伴うキャリア注入による極薄SOI膜のゼーベック係数変化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ
  • 学会等名: 電子情報通信学会ED研・SDM研合同２月研究会
  • 発表場所: 北海道大学（北海道）
• [学会発表] Thermoelectric properties of Si nanostructures and their characterization technique (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh
  • 学会等名: International Workshop on Crystal Growth and Characterization of Advanced Materials and Devices
  • 発表場所: Anna University (Chennai, India)
  • 招待講演
• [学会発表] Growth of compositionally homogeneous Si1-xGex and Mg2Si1-xGex crystals by novel method and their thermoelectric properties (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Hayakawa, M. Arivanandhan, M. Omprakash, R.A. Kumar, T. Koyama, Y. Momose, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, S.M. Babu, D.K. Aswal, S. Bhattacharya, Y. Inatomi
  • 学会等名: International Workshop on Crystal Growth and Characterization of Advanced Materials and Devices
  • 発表場所: Anna University (Chennai, India)
  • 招待講演
• [学会発表] Variation in SOI Seebeck coefficient with bias-injected carriers (2012)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, Y. Suzuki, K. Miwa, H. Ikeda
  • 学会等名: 14th Takayanagi Memorial Symposium
  • 発表場所: Shizuoka University (Shizuoka)
• [学会発表] In-situ observation of dissolution, growth processes of Si into Ge melt by x-ray penetration method (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Omprakash, M. Arivanandhan, R.A. Kumar, H. Morii, T. Aoki, T. Koyama, Y. Momose, A. Tanaka, H. Ikeda, H. Tatsuoka, Y. Okano, T. Ozawa, Y. Inatomi, S.M. Babu, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 14th Takayanagi Memorial Symposium
  • 発表場所: Shizuoka University (Shizuoka)
• [学会発表] Thermoelectric characteristics of compositionally homogeneous Si1-xGex bulk crystals (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Arivanandhan, M. Omprakash, R.A. Kumar, T. Koyama, Y. Momose, A. Tanaka, H. Ikeda, G. Ravi, H. Tatsuoka, A. Ishida, S. Bhattacharya, D.K. Aswal, S.M. Babu, Y. Inatomi, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 14th Takayanagi Memorial Symposium
  • 発表場所: Shizuoka University (Shizuoka)
• [学会発表] Focused ion beam Ga implantation into P-doped SOI layer for fabrication of thermoelectric modules (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh, M. Shimomura, H. Ikeda
  • 学会等名: Korean-Japanese Student Workshop
  • 発表場所: Pusan National University (Pusan, Korea)
• [学会発表] シリコンナノ構造の熱電変換特性と測定技術の構築 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池田浩也，鈴木悠平，三輪一聡，ファイズ・サレ
  • 学会等名: ナノワイヤ研究グループ第１回研究会「ナノワイヤ・ナノ構造における熱電変換」
  • 発表場所: 名古屋大学（愛知）
  • 招待講演
• [学会発表] Si thermoelectric characteristics for nanowire-thermopile infrared photodetector (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh
  • 学会等名: 2012 Symposium on Nanovision Technology
  • 発表場所: National Taipei University of Technology (Taipei, Taiwan)
  • 招待講演
• [学会発表] 伝導帯端近傍にフェルミエネルギーを制御したSiのゼーベック係数 (2012)
  • 著者名/発表者名: ファイズ・サレ，鈴木悠平，三輪一聡，池田浩也
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 松山大学・愛媛大学（愛媛）
• [学会発表] Construction of wefer bonding technique for SiGe-on-insulator substrates applicable to SiGe nanowire thermopile (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, Y. Suzuki, K. Miwa, F. Salleh, Y. Hayakawa
  • 学会等名: 11th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2012)
  • 発表場所: Hotel Ramada Plaza Budapest (Budapest, Hungary)
• [学会発表] Seebeck coefficinet of SOI layer varied by bias-injectied carriers (2012)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, Y. Suzuki, K. Miwa, H. Ikeda
  • 学会等名: 11th International Conference on Global Research and Education (InterAcademia 2012)
  • 発表場所: Hotel Ramada Plaza Budapest (Budapest, Hungary)
• [学会発表] Variation in SOI Seebeck coefficient by an external bias (2012)
  • 著者名/発表者名: F. Salleh, K. Miwa, H. Ikeda
  • 学会等名: EMS31（電子材料シンポジウム）
  • 発表場所: ラフォーレ修善寺（静岡）
• [学会発表] Seebeck coefficient of thin SOI films measured by Kelvin-probe force microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ikeda, F. Salleh, K. Miwa
  • 学会等名: 31th International & 10th European Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Nordkraft (Aalborg, Denmark)
• [学会発表] Development of Seebeck-coefficient measurement system using Kelvin-probe force microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Miwa, F. Salleh, H. Ikeda
  • 学会等名: The International Conference on Nano Electronics Research and Education
  • 発表場所: Magani Hotel (Bali, Indonesia)
• [備考] 静大 電子工学研究所 池田研究室
  • URL: http://nanote.eng.shizuoka.ac.jp/~ikedalab/index.html
• [備考] 静岡大学電子工学研究所 池田研究室
  • URL: http://nanote.eng.shizuoka.ac.jp/~ikedalab/index.html
• [備考] 静岡大学電子工学研究所 池田研究室
  • URL: http://www.serversman.net/ikedalab/