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非晶質材料表面への天然素材ナノパターンの原子レベルでの超精密転写

研究課題

研究課題/領域番号 24655188
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 無機工業材料
研究機関東京工業大学

研究代表者

吉本 護  東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 教授 (20174998)

連携研究者 松田 晃史  東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 講師 (80621698)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワード原子パターン / ナノインプリント / 天然素材 / 非晶質 / ガラス / ポリマー / 精密転写 / ナノ加工 / 原子レベルパターン / 転写 / 表面ナノ加工 / 超精密加工
研究成果の概要

本研究では熱ナノインプリントを利用して、天然物表面ナノ構造の原子レベル転写を検討した。酸化物ガラスやアクリルなどの有機系非晶質基板を加熱しながら、サファイア単結晶鉱物の原子ステップ形状や雲母劈開面における六角形状の原子レベル天然ナノ構造パタ-ンを有する鋳型を、基板表面上に適当な圧力で押し付けた。その結果、石英ガラス基板およびアクリル、ポリカーボネート、ポリイミドなどの樹脂基板上に、0.3nm程度の原子ステップ配列パターンを形成することに成功した。さらに、ソーダライムシリカガラス基板上に、雲母劈開面における約0.5nm間隔の周期的な凹凸パターンを転写することができた。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (7件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Masaru Nakagawa, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Exp. (APEX)

      巻: 7(5) 号: 5 ページ: 055202-055202

    • DOI

      10.7567/apex.7.055202

    • NAID

      210000137094

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Masaru Nakagawa, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Exp. (APEX)

      巻: 2014 ページ: 1-3

    • NAID

      210000137094

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-temperature synthesis of epitaxial oxide thin films for development of unequilibrium structure and novel electronic functionalization2013

    • 著者名/発表者名
      M. YOSHIMOTO, R. YAMAUCHI, D. SHIOJIRI, G. TAN, S. KANEKO and A. MATSUDA
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Japan,

      巻: 121 ページ: 1-9

    • NAID

      130004950790

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Formation of 0.3 nm-High Atomically Stepped Polymer Sheets Applicable to Nanotemplate Substrates for Self-Assembly2014

    • 著者名/発表者名
      G. Tan, T. Funabasama, Y. Nozawa, S. Kaneko, A. Matsuda, M. Yoshimoto
    • 学会等名
      Materials Research Society(MRS:米国材料学会)Fall Meeting
    • 発表場所
      USA/Boston
    • 年月日
      2014-11-30 – 2014-12-05
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Nanoimprint Fabrication and Application of Subnano-Scale Surface-Patterned Glassy Substrates2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Yasuhisa Nozawa, Tomoyuki Funabasama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      13th Intl Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Tech. (Kyoto)
    • 発表場所
      京都ANAホテル
    • 年月日
      2014-10-23 – 2014-10-24
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写2014

    • 著者名/発表者名
      船迫友之, 譚 ゴオン, 三田正弘, 奥田徳路,中川 勝,松田晃史, 吉本 護
    • 学会等名
      第75回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 札幌キャンパス)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御2014

    • 著者名/発表者名
      野沢 靖久,譚 ゴオン,船迫 友之,金子 智,松田 晃史,吉本 護
    • 学会等名
      第75回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 札幌キャンパス)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Subnanometer patterning on the surfaces of glassy substrates by thermal nanoimprint process2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      1st Int’l Conf. of Photopolymer Sci. and Tech.
    • 発表場所
      千葉大学
    • 年月日
      2014-07-08 – 2014-07-09
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Nanoimprinting of self-organized atomic scale patterns of minerals onto the oxide glass surface2013

    • 著者名/発表者名
      N. Inoue, G. Tang, A. Matsuda, M. Yoshimoto
    • 学会等名
      第26回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC 2013)
    • 発表場所
      札幌、ロイトン札幌ホテル
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 非晶質材料表面への非晶質材料表面への天然素材を使ったナノ天然素材を使ったナノインプリト パターニングパターニング2013

    • 著者名/発表者名
      井上直哉,譚 ゴオン,大井秀雄,三田正弘,奥田徳路,松田晃史,吉本 護
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [備考] http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] 吉本研究室ホームページ

    • URL

      http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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