| 研究課題/領域番号 |
24656013
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
原 和彦 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80202266)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 六方晶窒化ホウ素 / 化学気相法 / 薄膜 / 単結晶 / ルミネッセンス / 単結晶薄膜 / 窒化ホウ素 |
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| 研究概要 |
高品質な六方晶BN（h-BN）結晶を得るための技術として、h-BNの自立結晶を選択成長により作製することを目的して研究を進めた。化学気相法によるc面サファイア基板上へh-BN薄膜の成長では、発光特性と結晶性には強い相関があることを示して作製条件の最適化を行った結果、減圧成長により低温で大幅に結晶性を向上できることを明らかにし、厚膜のh-BN薄膜としては初めて面内配向の明確な単結晶の成長に成功した。また、剥離した薄膜への高温再成長も、大面積の高品質h-BN結晶を作製するための有力な手段であることを示した。
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