試料局所領域精密温度測定法の研究

• 研究課題/領域番号: 24656034
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 佐々木 勝寛 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00211938)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2013年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円); 2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
• キーワード: 電子顕微鏡

研究概要

透過電子顕微鏡内で局所領域の温度を正確に測定することは、透過電子顕微鏡法の悲願である。Au-Si共晶合金の針状試料を用いて数100nm程度の針状試料作製し、透過電子顕微鏡内で測温を試みた。Siウェハ上にAuを蒸着し、ダイアモンド粉末を塗布した後、イオンシャドウ法を用いて試料を作製した。作製した試料を加熱ホルダーに取り付け透過電子顕微鏡内で加熱した。固液界面の移動量から、Au-Si共晶点を基準に5nmあたり10℃の精度で測温出来ることが示された。

研究成果

• [雑誌論文] <i>In Situ</i> Observation of Gold Chloride Decomposition in a Confined Nanospace by Transmission Electron Microscopy (2014)
  • 著者名/発表者名: Keita Kobayashi, Ryo Kitaura, Katsuhiro Sasaki, Kotaro Kuroda, Takeshi Saito and Hisanori Shinohara
  • 雑誌名: MATERIALS TRANSACTIONS 巻: 55 号: 3 ページ: 461-465
  • DOI: 10.2320/matertrans.MD201308
  • NAID: 130004455274
  • ISSN: 1345-9678, 1347-5320
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2013)
  • 著者名/発表者名: Bralee Chayasombat, Yusuke Kimata, Tomoharu Tokunaga, Kotaro Kuroda, and Katsuhiro Sasaki
  • 雑誌名: Microsc. Microanal. 19 巻: S5 号: S5 ページ: 119-122
  • DOI: 10.1017/s1431927613012464
  • 査読あり
• [雑誌論文] Microstructural analysis of thermal degradation of palladium-coated niobium membrane (2013)
  • 著者名/発表者名: K.Sasaki, M.Hattori, K.Tsuchimoto, H.Yukawa, S.Arai, T.Tokunaga, Y.Murata, T.Yamamoto
  • 雑誌名: J. Alloys and Compounds 巻: 573 ページ: 192-197
  • DOI: 10.1016/j.jallcom.2013.04.037
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Sasaki , H. Saka, M. Hattori, S. Arai, N. Tanaka and T. Yamamoto
  • 雑誌名: Microsc. Microanal 巻: 18 (Suppl 2) 号: S2 ページ: 1168-1169
  • DOI: 10.1017/s1431927612007696
• [雑誌論文] Oxidation kinetics of single crystal silicon carbide using electron microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Chayasombat, T. Kato, T. Hirayama, T. Tokunaga, K. Sasaki, and K. Kuroda
  • 雑誌名: Journal of the Ceramic Society of Japan 巻: 120 号: 1401 ページ: 181-185
  • DOI: 10.2109/jcersj2.120.181
  • NAID: 130004480051
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of microstructures of thermal oxide scales on silicon carbide using transmission electron microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Chayasombat, T. Kato, T. Hirayama, T. Tokunaga, K. Sasaki, and K. Kuroda
  • 雑誌名: Journal of the Ceramic Society of Japan 巻: 120 号: 1398 ページ: 64-68
  • DOI: 10.2109/jcersj2.120.64
  • NAID: 130002067590
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • 査読あり
• [雑誌論文] Behavior of Cu Nanoparticles Ink under Reductive Calcination for Fabrication of Cu Conductive Film (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Ida, M. Tomonari, Y. Sugiyama, Y. Chujyo, T. Tokunaga, T. Yonezawa, K. Kuroda, K. Sasaki
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 520 号: 7 ページ: 2789-2793
  • DOI: 10.1016/j.tsf.2011.12.024
  • 査読あり
• [学会発表] (2014)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛, 高橋拓也, 荒井重勇, 徳永智春, 山本剛久
  • 学会等名: 顕微鏡学会第70回学術講演会
  • 発表場所: 千葉
• [学会発表] (2014)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛, 高橋拓也, 荒井重勇, 山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会春期講演大会2014
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 共晶ナノニードル透過電子顕微鏡内温度計の試み (2014)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛、高橋拓也、荒井重勇、山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会春期講演大会2014
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛, 高橋拓也, 荒井重勇, 徳永智春, 山本剛久
  • 学会等名: 日本顕微鏡学会第69回学術講演会
  • 発表場所: 大阪
• [学会発表] Au-Si共晶合金の融解・凝固過程のTEM内その場観察 (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛、高橋拓也、荒井重勇、山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会秋期講演大会2013
  • 発表場所: 金沢大学
• [学会発表] ナノサイズ針状Au-Si共晶合金のその場部分融解観察 (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛、高橋拓也、荒井重勇、徳永智春、山本剛久
  • 学会等名: 日本顕微鏡学会第69回学術講演会
  • 発表場所: 大阪府吹田市
• [学会発表] (2012)
  • 著者名/発表者名: 高橋拓也, 鈴木隆文, 佐々木勝寛, 徳永智春, 山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会2012年秋季講演大会
  • 発表場所: 愛媛
• [学会発表] Needle Shape 合金試料による 透過電子顕微鏡内温度計測の試み (2012)
  • 著者名/発表者名: 高橋 拓也、 鈴木 隆文、 佐々木 勝寛 徳永智春 山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会2012 年秋 期 講 演 大 会
  • 発表場所: 日本、松山
• [学会発表] In-situ EELS of coexisting solid and liquid in a pure metal and an eutectic alloy in a TEM (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Sasaki , H. Saka, M. Hattori, S. Arai, N. Tanaka and T. Yamamoto
  • 学会等名: Microsacopy and Microanalysis 2012
  • 発表場所: Phoenix, USA
• [備考]
  • URL: http://nanophysics.ap.eng.osaka-u.ac.jp/