球の弾性表面波の周囲ガスへの漏洩に基づく高真空から加圧域まで使える真空計

• 研究課題/領域番号: 24656060
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用物理学一般
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 山中 一司 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00292227)
• 研究分担者: 辻 俊宏 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (70374965)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2012年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: 弾性表面波 / 漏洩減衰 / SAWセンサ / 真空計 / 圧力計

研究概要

球状弾性表面波(ボールSAW)素子におけるSAWの超長距離伝搬を用いて漏洩減衰の圧力依存性を測定し、加圧域から使える真空計の実現を図った。多重周回するSAWの散乱抑制に有用なAl製のすだれ状電極の素子を作製した結果、大気圧(100 kPa)の窒素ガス中で1 m伝搬した周回波をS/N=20で観察でき、振幅減衰曲線から減衰を精密に測定できた。ここから圧力に依存しない素子固有の減衰を差し引いて漏洩減衰の圧力依存性を測定した結果、300 kPaから0.03 kPaの範囲で線形性が見られた。以上の結果から、ボールSAW素子による漏洩減衰測定を用いた加圧域から使える真空計の基礎を確立することができた。

研究成果

• [雑誌論文] SiOx膜を用いたボールSAWセンサによる高感度微量水分測定システムの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 萩原啓, 大場俊弘, 小清水秀和, 辻俊宏, 大泉透, 竹田宣生, 赤尾慎吾, 大木恒郎, 高柳浩介, 柳沢恭行, 中曽教尊, 塚原祐輔, 山中一司
  • 雑誌名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2014講演論文集 ページ: 47-52
• [雑誌論文] SiOx膜を用いたボールSAWセンサによる高感度微量水分測定システムの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 萩原啓、大場俊弘、小清水秀和、辻俊宏、大泉透、竹田宣生、赤尾慎吾、大木恒郎、高柳浩介、柳沢恭行、中曽教尊、塚原祐輔、山中一司
  • 雑誌名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2014 講演論文集 巻: 2014 ページ: 47-52
• [雑誌論文] Fast and Sensitive Ball SAW Hydrogen Sensor with Porus Pd-Pt Alloy Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 雑誌名: Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics 巻: Vol.34(2013) ページ: 155-156
  • 査読あり
• [雑誌論文] Highly Sensitive Trace Moisture Ball SAW Sensor Using SiOx film (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Toshihiro Tsuji, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Tsuneo Ohgi, Kosuke Takayaangi, Takayuki Yangisawa, Noritaka Nakaso, Yusuke Tsukahara, Kazushi Yamanaka
  • 雑誌名: Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics 巻: Vol.34(2013) ページ: 381-382
  • 査読あり
• [雑誌論文] Pd-Pt合金膜を用いたボールSAWセンサによる水素の高感度計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏, 三原亮祐, 齋藤智弘, 萩原啓, 大泉透, 竹田宣生, 大木恒郎, 柳沢恭行, 赤尾慎吾, 中曽教尊, 山中一司
  • 雑誌名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2013講演論文集 ページ: 85-86
• [雑誌論文] Measurement of Trace Moisture Using Ball SAW Sensor (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Toshihiro Tsuji, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 雑誌名: Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics 巻: Vol.33 ページ: 439-440
  • 査読あり
• [雑誌論文] Frequency Dependence Analysis of Ball SAW Sensor's Response (2012)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Kosuke Takayanagi, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 雑誌名: Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics 巻: Vol.33 ページ: 49-50
  • 査読あり
• [雑誌論文] Continuous Measurement of Multiple Gases Using Ball Surface Acoustic Wave Gas Chromatograph (2012)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro SAKAMOTO, Shingo AKAO, Takamitsu IWAYA, Toshihiro TSUJI, Noritaka NAKASO, Kazushi YAMANAKA
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51
  • NAID: 210000140945
  • 査読あり
• [雑誌論文] Developement of High Precision Metal Micro-Electro-Mechanical-Systems Column for Portable Surface Acoustic Wave Gas Chromatograph (2012)
  • 著者名/発表者名: Takamitsu IWAYA, Shingo AKAO, Toshihiro SAKAMOTO, Toshihiro TSUJI, Noritaka NAKASO, Kazushi YAMANAKA
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51
  • NAID: 210000140947
  • 査読あり
• [雑誌論文] Continuous Measurement of Multiple Gases Using Ball Surface Acoustic Wave Gas Chromatograph (2012)
  • 著者名/発表者名: Takamitsu IWAYA, Shingo AKAO, Toshihiro SAKAMOTO, Toshihiro TSUJI, Noritaka NAKASO, Kazushi YAMANAKA
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51 号: 7S ページ: 07GC22-07GC22
  • DOI: 10.1143/jjap.51.07gc22
  • NAID: 210000140945
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of High Precision Metal Micro-Electro-Mechanical-Systems Column for Portable Surface Acoustic Wave Gas Chromatograph (2012)
  • 著者名/発表者名: Iwaya Takamitsu, Akao Shingo, Sakamoto Toshihiro, Tsuji Toshihiro, Nakaso Noritaka, Yamanaka Kazushi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51 号: 7S ページ: 07GC24-07GC24
  • DOI: 10.1143/jjap.51.07gc24
  • NAID: 210000140947
  • 査読あり
• [学会発表] 微量水分計測のためのボールSAWセンサシステムの高度化 (2014)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏, 萩原啓, 大場俊弘, 小清水秀和, 大泉透, 竹田宣生, 赤尾慎吾, 大木恒郎, 高柳浩介, 柳沢恭行, 中曽教尊, 塚原祐輔, 山中一司
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学相模原キャンハ?ス(神奈川)
  • 年月日: 2014-03-18
• [学会発表] SiOx膜を用いたボールSAWセンサによる高感度微量水分測定システムの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 萩原啓, 大場俊弘, 小清水秀和, 辻俊宏, 大泉透, 竹田宣生, 赤尾慎吾, 大木恒郎, 高柳浩介, 柳沢恭行, 中曽教尊, 塚原祐輔, 山中一司
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2014
  • 発表場所: 東北大学(宮城県)
  • 年月日: 2014-01-29
• [学会発表] 微量水分計測のためのボールSAWセンサシステムの高度化 (2014)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏、萩原啓、大場俊弘、小清水秀和、大泉透、竹田宣生、赤尾慎吾、大木恒郎、高柳浩介、柳沢恭行、中曽教尊、塚原祐輔、山中一司
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川県
• [学会発表] SiOx膜を用いたボールSAWセンサによる高感度微量水分測定システムの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 萩原啓、大場俊弘、小清水秀和、辻俊宏、大泉透、竹田宣生、赤尾慎吾、大木恒郎、高柳浩介、柳沢恭行、中曽教尊、塚原祐輔、山中一司
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2014
  • 発表場所: 宮城
• [学会発表] Fast and Sensitive Ball SAW Hydrogen Sensor with Porus Pd-Pt Alloy Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: The 34th Symposium on Ultrasonic Electronics USE2013
  • 発表場所: 同志社大学(京都)
  • 年月日: 2013-11-20
• [学会発表] Fast and sensitive H2 detection by ball surface acoustic wave (SAW) sensor with porous Pd-Pt alloy film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Ryosuke Mihara, Tomohiro Saito, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Tsuneo Ohgi,Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao,Noritaka Nakaso,Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
  • 発表場所: Prague Congress Center (Prague Czech Republic)
  • 年月日: 2013-07-25
• [学会発表] Response of quartz ball surface acoustic wave (SAW) sensor to trace moisture,2013 Joint UFFC (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Satoshi Hagihara, Tomohiro Saito,Oizumi Oizumi,Nobuo Takeda,Shigo Akao,Kosuke Takayanagi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Yusuke Tsukahara, Toshihiro Tsuji
  • 学会等名: EFTF and PFM Symposium
  • 発表場所: Prague Congress Center(Prague Czech Republic)
  • 年月日: 2013-07-24
• [学会発表] Highly Sensitive Ball SAW Hydrogen Sensor with Porous Pd Alloy Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji,Ryosuke Mihara, Tomohiro Saito,Satoshi Hagihara,Toru Oizumi,Nobuo Takeda,Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao,Noritaka Nakaso, and Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Laser Ultrasonics and Advanced Sensing
  • 発表場所: Yokohama Red Brick Warehouse (Kanagawa,Japan)
  • 年月日: 2013-06-27
• [学会発表] ボールSAWセンサの最近の展開 (2013)
  • 著者名/発表者名: 山中一司
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学(神奈川県)
  • 年月日: 2013-03-29
  • 招待講演
• [学会発表] Pd-Pt合金膜を用いたボールSAWセンサによる空気中水素の測定 (2013)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏, 三原亮祐, 齋藤智弘, 萩原啓, 大泉透, 竹田宣生, 大木恒郎, 柳沢恭行, 赤尾慎吾, 中曽教尊, 山中一司
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学(神奈川県)
  • 年月日: 2013-03-29
• [学会発表] Pd-Pt合金膜を用いたボールSAWセンサによる水素の高感度計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏, 三原亮祐, 齋藤智弘, 萩原啓, 大泉透, 竹田宣生, 大木恒郎, 柳沢恭行, 赤尾慎吾, 中曽教尊, 山中一司
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2013
  • 発表場所: 東北大学(宮城県)
  • 年月日: 2013-01-28
• [学会発表] Highly Sensitive Trace Moisture Ball SAW Sensor Using SiOx film (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Toshihiro Tsuji, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Tsuneo Ohgi, Kosuke Takayaangi, Takayuki Yangisawa, Noritaka Nakaso, Yusuke Tsukahara, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: The 34th Symposium on Ultrasonic Electronics USE2013
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] Fast and Sensitive Ball SAW Hydrogen Sensor with Porus Pd-Pt Alloy Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: The 34th Symposium on Ultrasonic Electronics USE2013
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] Response of quartz ball surface acoustic wave (SAW) sensor to trace moisture (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Satoshi Hagihara,Tomohiro Saito, Oizumi Oizumi, Nobuo Takeda, Shigo Akao, KosukeTakayanagi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso,Yusuke Tsukahara, Toshihiro Tsuji
  • 学会等名: 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
  • 発表場所: チェコ、プラハ
• [学会発表] Fast and sensitive H2 detection by ball surface acoustic wave (SAW) sensor with porous Pd-Pt alloy film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Ryosuke Mihara,Tomohiro Saito, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Tsuneo Ohgi,Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao,NoritakaNakaso,Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
  • 発表場所: チェコ、プラハ
• [学会発表] Detection of Trace Water Vapor Using SiOx-Coated Ball SAW Sensor (2013)
  • 著者名/発表者名: Kosuke Takayanagi, Shingo Akao, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Yusuke Tsukahara, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Toshihiro Tsuji, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Laser Ultrasonics and Advanced Sensing
  • 発表場所: 神奈川県
• [学会発表] Meander Propagation Route of Surface Acoustic Wave on a Trigonal Crystal Ball Observed Using Non Contact Electrodes (2013)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Yanagisawa, Tsuneo Ohgi, Shingo Akao, Noritaka Nakaso, Yusuke Tsukahara, Yoshikazu Ohara, Toshihiro Tsuji, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Laser Ultrasonics and Advanced Sensing
  • 発表場所: 神奈川県
• [学会発表] Measurement of trace water vapor using ball surface acoustic wave (SAW) sensor (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Tomohiro Saito, Ryosuke Mihara, Toru Oizumi , Nobuo Takeda, Shingo Akao, Tsuneo Ohgi, Kosuke Takayanagi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Toshihiro Tsuji, and Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Laser Ultrasonics and Advanced Sensing
  • 発表場所: 神奈川県
• [学会発表] Highly Sensitive Ball SAW Hydrogen Sensor with Porous Pd Alloy Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Ryosuke Mihara, Tomohiro Saito, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Tsuneo Ohgi,Takayuki Yanagisawa, Shingo Akao, Noritaka Nakaso, and Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Laser Ultrasonics and Advanced Sensing
  • 発表場所: 神奈川県
• [学会発表] ボールSAWセンサの最近の展開 (2013)
  • 著者名/発表者名: 山中一司
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川
  • 招待講演
• [学会発表] ボールSAWセンサを用いた微量水分の高感度測定 (2013)
  • 著者名/発表者名: 萩原啓、齋藤智弘、三原亮祐、大泉透、竹田宣生、赤尾慎吾、大木恒郎、柳沢恭行、高柳浩介、中曽教尊、辻俊宏、塚原祐輔、山中一司
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] Pd-Pt合金膜を用いたボールSAWセンサによる空気中水素の測定 (2013)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏、三原亮祐、齋藤智弘、萩原啓、大泉透、竹田宣生、大木恒郎、柳沢恭行、赤尾慎吾、中曽教尊、山中一司
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] Pd-Pt合金膜を用いたボールSAWセンサによる水素の高感度計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 辻俊宏、三原亮祐、齋藤智弘、萩原啓、大泉透、竹田宣生、大木恒郎、柳沢恭行、赤尾慎吾、中曽教尊、山中一司
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2013
  • 発表場所: 宮城
• [学会発表] Frequency Dependence Analysis of Ball SAW Sensor's Response (2012)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Kosuke Takayanagi, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: The 33rd Symposium on Ultrasonic Electronics USE2012
  • 発表場所: Chiba University (Chiba,Japan)
  • 年月日: 2012-11-13
• [学会発表] Continuous Monitoring of Multiple-Gas Concentrations Using Ball SAW Gas Chromatograph (2012)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Shingo Akao,Tsuneo Ohgi,Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso,Kazsuhi Yamanaka
  • 学会等名: 2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: International Congress Center(Dresden,Germany)
  • 年月日: 2012-10-09
• [学会発表] Measurement of Trace Moisture by Differential Operation of Dual Ball SAW Sensors (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Tosihiro Tsuji, Toru Oizumi, Shingo Akao, Kosuke Takayanagi Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: International Congress Center(Dresden,Germany)
  • 年月日: 2012-10-09
• [学会発表] Frequency Dependence Analysis of Ball SAW Sensor's Response (2012)
  • 著者名/発表者名: Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Kosuke Takayanagi, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(USE2012)
  • 発表場所: 千葉
• [学会発表] Measurement of Trace Moisture Using Ball SAW Sensor (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Toshihiro Tsuji, Toru Oizumi, Nobuo Takeda, Shingo Akao, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(USE2012)
  • 発表場所: 千葉
• [学会発表] Measurement of Trace Moisture by Differential Operation of Dual Ball SAW Sensors (2012)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Tsuji, Satoshi Hagihara, Shingo Akao, Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazsuhi Yamanaka
  • 学会等名: 2012 IEEE International Ultrasonic Symposium (IUS)
  • 発表場所: ドイツ、ドレスデン
• [学会発表] Continuous Monitoring of Multiple-Gas Concentrations Using Ball SAW Gas (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Hagihara, Tosihiro Tsuji, Toru Oizumi, Shingo Akao, Kosuke Takayanagi Tsuneo Ohgi, Takayuki Yanagisawa, Noritaka Nakaso, Kazushi Yamanaka
  • 学会等名: 2012 IEEE International Ultrasonic Symposium (IUS)
  • 発表場所: ドイツ、ドレスデン
• [図書] Advance in Acoustic Microscory and High Resolution Imaging,12 Ultrasonic atomic force microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Toshihiro Tsuji
  • 出版者: Wiley VCH
• [図書] Acoustic Scanning Probe Microscopy,Chapter6 Ultrasonic Atomic Force Microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Toshihiro Tsuji
  • 出版者: Springer
• [図書] Characterization of MATERIALS vol.3,ULTRASONIC ATOMIC FORCE MICROSCOPY (2012)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Toshihiro Tsuji
  • 出版者: Wiley
• [図書] ULTRASONIC ATOMIC FORCE MICROSCOPY Characterization of MATERIALS vol.3（2012） (2012)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Toshihiro Tsuji
  • 出版者: Springer
• [図書] Acoustic Scanning Probe Microscopy Chapter6 Ultrasonic Atomic Force Microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Toshihiro Tsuji
  • 出版者: Springer
• [図書] Advance in Acoustic Microscory and High Resolution Imaging (2012)
  • 著者名/発表者名: Kazushi Yamanaka, Toshihiro Tsuji
  • 出版者: Wiley-VCH
• [備考]
  • URL: http://www.material.tohoku.ac.jp/~hyoka/lab.html
• [備考] 山中研究室
  • URL: http://www.material.tohoku.ac.jp/~hyoka/lab.html
• [産業財産権] 水分濃度センサ (2013)
  • 発明者名: 高柳浩介, 塚原祐輔, 山中一司, 辻俊宏
  • 権利者名: 凸版印刷株式会社, 国立大学法人 東北大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2013-130728
  • 出願年月日: 2013-06-21
• [産業財産権] 水分濃度センサ (2013)
  • 発明者名: 高柳浩介、塚原祐輔、山中一司、辻俊宏
  • 権利者名: 凸版印刷株式会社、国立大学法人東北大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2013-130728
  • 出願年月日: 2013-06-21
• [産業財産権] ガスセンサ (2012)
  • 発明者名: 辻俊宏, 山中一司, 小原良和, 坂本俊裕, 岩谷隆光
  • 権利者名: 国立大学法人東北大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2012-266906
  • 出願年月日: 2012-12-06
• [産業財産権] ガスセンサ (2012)
  • 発明者名: 辻俊宏、山中一司、小原良和、坂本俊宏、岩谷隆光
  • 権利者名: 東北大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2012-266906
  • 出願年月日: 2012-12-06