| 研究課題/領域番号 |
24656066
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
応用物理学一般
|
|---|
| 研究機関 | 豊田工業大学 |
|---|
研究代表者 |
熊谷 慎也 豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
|
|---|
| 連携研究者 |
佐々木 実 豊田工業大学, 工学部, 教授 (70282100)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
|
|---|
| キーワード | マイクロマシン / マイクロ流路デバイス / マイクロ・ナノデバイス / 流れ解析 / マイクロ流体デバイス |
|---|
| 研究概要 |
本研究では、フォトレジストのスプレーコーティングと斜め露光技術を基盤とする3次元リソグラフィー技術を適用して、これまで利用されていなかったマイクロ流路側壁部分にデバイスとしての機能を付加し、新しい3次元MEMSデバイスを作り上げることを目指した。ここで検討したマイクロ流路デバイスは、静電相互作用と流体の流れを利用して、液体中に含まれたパーティクルを分離するデバイスである。シミュレーションを通じてマイクロ流路の設計を行い、ガラス基板上にマイクロ流路デバイスを試作した。
|
