| 研究課題/領域番号 |
24656077
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
三浦 英生 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90361112)
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| 研究分担者 |
鈴木 研 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40396461)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | 結晶粒界品質 / 材料設計 / 物性評価 / 電子線回折 / 信頼性 / 結晶粒界 / 薄膜デバイス / めっき銅薄膜配線 / 原子拡散 / 劣化損傷 / 構造・機能材料 / マイクロ・ナノデバイス / 電気・電子材料 / 電子デバイス・機器 / 電子顕微鏡 |
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| 研究概要 |
構造材料を構成する多結晶材料中に存在する結晶粒界を，体積を有する原子配列の秩序がくずれた遷移領域としてとらえ，その秩序性を評価する指標を電子線回折技術を応用して開発した．ナノスケールに集束した電子線を材料表面で走査し，各微小領域から得られる後方電子散乱像の信号品質を分析することで，材料内の原子配列の秩序性を表すパラメータを提案した．隣接した結晶の方位差という従来の粒界性状評価では説明できない，電気機械物性を支配する結晶構造パラメータの有効性を，半導体実装用配線材料や火力発電用耐熱合金の損傷評価を通し実証した．本成果に基づき二十一世紀の安全で安心なもの創りに資する材料評価技術が確立できた．
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