| 研究課題/領域番号 |
24656086
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
宮崎 則幸 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 名誉教授 (10166150)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 複屈折 / 残留応力 / クリープ変形 / 有限要素法 |
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| 研究概要 |
フッ化カルシウム単結晶について、ひずみ速度一定条件下で行った高温圧縮試験結果を用いて、定常クリープ構成式の定式化を行った。この構成式を用いてフッ化カルシウム単結晶のアニール工程後の残留応力を非線形有限要素解析により求め、さらにこの応力値から複屈折計算を行い光路差を計算した。光路差分布についての解析値を実験値と比較した結果、両者に良好な一致が見られ、残留応力評価サブシステムを検証することができた。完成した半導体リソグラフィー用光学素子評価システムを用いて半導体リソグラフィーに用いられている、波長193 nmのArFエキシマレーザー光源用のフッ化カルシウム単結晶窓材の複屈折評価を行った。
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