| 研究課題/領域番号 |
24656093
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高 偉 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70270816)
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| 研究分担者 |
清水 裕樹 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (70606384)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 計測 / 静電気力 / プローブ顕微鏡 / 金型 / バイオオプティクス / 非接触 / 絶対距離 / マイクロ / 形状 / 精度 / 微細形状 / 微空間 / ナノメートル |
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| 研究概要 |
電荷を蓄えられるプローブ探針を用いて，大気中の水分が試料表面に凝着することで生成されるナノスケール厚さの水膜などから発生する静電気力遠接場を高速・高感度に可視化することで探針・試料表面間の絶対距離を自律的に計測する手法を提案し，高アスペクト比で複雑な構造を持つマイクロバイオオプティクス用金型などの微細形状を表面の電気的特性に影響されずに安定して非接触に高精度計測可能な静電気力遠接場走査プローブ顕微鏡を開発した．
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