金属基板表面への再帰性反射素子形成に向けた新規ビーム整形法の開発

• 研究課題/領域番号: 24656095
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 茨城大学
• 研究代表者: 山崎 和彦 茨城大学, 工学部, 准教授 (30436240)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2012年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: ナノ・マイクロ加工 / ビーム整形 / 短パルスレーザ / レーザ加工

研究概要

金属基板表面のレーザ微細加工技術として、円形ビームを三角形に整形するビーム整形法を提案する。構築した光学系を用いて得られた整形ビームのプロファイルを確認し、ステンレス基板表面に照射したところ、３光束の干渉によって周期約2.5μmの２次元周期構造物が形成された。一方、単一ビームの集光照射では幅約4μｍ、深さ約0.7μｍの溝加工を確認した。凹型三角形ピラミッド構造物の作製には至らなかったものの、短パルスレーザ光による微細加工技術としての発展性を示した。