研究課題/領域番号 |
24656095
|
研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
生産工学・加工学
|
研究機関 | 茨城大学 |
研究代表者 |
山崎 和彦 茨城大学, 工学部, 准教授 (30436240)
|
研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
|
研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
|
配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
|
キーワード | ナノ・マイクロ加工 / ビーム整形 / 短パルスレーザ / レーザ加工 |
研究概要 |
金属基板表面のレーザ微細加工技術として、円形ビームを三角形に整形するビーム整形法を提案する。構築した光学系を用いて得られた整形ビームのプロファイルを確認し、ステンレス基板表面に照射したところ、3光束の干渉によって周期約2.5μmの2次元周期構造物が形成された。一方、単一ビームの集光照射では幅約4μm、深さ約0.7μmの溝加工を確認した。凹型三角形ピラミッド構造物の作製には至らなかったものの、短パルスレーザ光による微細加工技術としての発展性を示した。
|