| 研究課題/領域番号 |
24656103
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
安武 潔 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80166503)
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| 研究分担者 |
垣内 弘章 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (10233660)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
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| キーワード | シリコン / 水素還元 / 二酸化ケイ素 / プラズマエッチング / 高圧力プラズマ / SiO2 / 珪砂 / 太陽電池級Si |
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| 研究成果の概要 |
低純度珪砂（SiO2）原料から太陽電池用SiH4ガスを直接製造するプロセスの開発を目的として、高圧力水素プラズマを用いた高密度H生成とその評価技術、およびSiO2の高速エッチング技術を開発した。高圧力水素プラズマ中の原子状H密度の定量法を確立することによって、プラズマ条件とH密度およびSiO2エッチング速度の基礎的関係を明らかにした。プロセス条件の最適化を行った結果、SiO2エッチング速度として、これまでに報告されている値の約100倍の速度（303 nm/min）を達成した。
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