| 研究課題/領域番号 |
24656112
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
福澤 健二 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60324448)
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| 研究分担者 |
伊藤 伸太郎 名古屋大学, 大学院工学研究科, 講師 (50377826)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | トライボロジー / 摺動すきま / エリプソメトリー / 顕微鏡 |
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| 研究概要 |
摺動面平滑化技術の進歩にともない，微小摺動すきまでの潤滑技術が求められるようになってきた．しかし，計測の困難さゆえに潤滑現象の解明は十分進んでいない．潤滑現象の把握には，摺動すきま形状（分布）と摺動面を分離する力の関係を求めることが必須である．本研究では，ナノメートルオーダの摺動すきまの形状計測法を提案することを目的とした．微小機械への適用を念頭に，高いすきま分解能と高い面内分解能を両立させる方法を検討した．そして，エリプソメトリーに基づいた新規な方法を試み，すきま形状の計測が原理的に可能であることを示した．
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