| 研究課題/領域番号 |
24656203
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
山田 明 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (40220363)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 太陽電池 / シリコン / ナノワイヤー / 量子効果 |
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| 研究概要 |
シリカナノ粒子をマスクとした金属誘起エッチング法を用いて、直径30nmのSiナノワイヤー（Si NW）の作製に成功した。走査型顕微鏡像からは、シリカナノ粒子の直径とほぼ等しいSi NWが形成されていること、透過型電子顕微鏡像からは、形成後のSi NWがダイヤモンド構造を保っていることを確認した。次にSi NWのパッシベーション手法として原子層成長（ALD）法を提案、ALD-Al2O3をパッシベーション膜として用いることでキャリア寿命100μsec（アニール後）を実現した。最後に長さ7μmのSi NWを用いて太陽電池を作製、変換効率1.2%を達成し、当初の研究目的を達成した。
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