| 研究課題/領域番号 |
24656435
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 群馬大学 |
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研究代表者 |
保坂 純男 群馬大学, 理工学研究院, 教授 (10334129)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 自己組織化 / 量子ドット / 太陽電池 |
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| 研究概要 |
本研究は、加工方式による3次元量子ドット太陽電池形成を目的に、3次元量子ドット太陽電池形成のための基板形成および3次元量子ドット形成プロセスの確立を行った。前者では、多層トンネル接合PIN型Si太陽電池基板を提案し、3次元量子ドット太陽電池基板の構造を決定した。試作評価では、絶縁膜の膜厚の決定、多層構造の影響等を調べ、絶縁膜厚1nm、3層構造までは、太陽電池特性が出ることを実証した。また、後者では、電子線描画では達成できない10nm径以下のドット列形成を自己組織化法で行い、これを、SF6+O2プラズマエッチング耐性のあるカーボン膜に転写し、最終的には多層膜基板を加工するプロセスを確立した。
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