低環境負荷の液中セルフアセンブリプロセスでつくるマイクロ・ナノデバイス構造

• 研究課題/領域番号: 24681020
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 一部基金
• 研究分野: ナノ構造科学
• 研究機関: 豊田工業大学
• 研究代表者: 熊谷 慎也 豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 11,180千円 (直接経費: 8,600千円、間接経費: 2,580千円); 2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円); 2013年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円); 2012年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
• キーワード: ナノ・バイオ材料 / MEMS/NEMS / ナノ材料 / マイクロ・ナノデバイス / セルフアセンブリ

研究成果の概要

ナノ・バイオ材料を基板上に組み込んでマイクロ・ナノデバイスを作製する、融合プロセスの開発に取り組んだ。液中における静電相互作用を利用して、ナノ・バイオ材料を基板表面上にパターニングした。表面修飾法によって基板表面上に正負の電荷パターンを形成した。液中における静電相互作用距離を制御して、引力作用を示す電荷パターン上にナノ・バイオ材料を選択的に配置することに成功した。このような配置パターンを利用して、MEMSデバイスの特性向上を実現した。配置パターンを利用して、MEMSデバイスの特性向上を実現した。

研究成果

• [学会発表] Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Kumagai, I. Yamashita, Y. Uraoka, M. Sasaki
  • 学会等名: The 2015 International Meeting on Information Display
  • 発表場所: Daegu, Korea
  • 年月日: 2015-08-18 – 2015-08-21
  • 招待講演
• [学会発表] DESINGING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN SI THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Tomikawa, J.-H. Jeong, S. Kumagai, I. Yamashita, Y. Uraoka, M. Sasaki
  • 学会等名: IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2014
  • 発表場所: Glasgow, Scotland
• [学会発表] Self-Assembly Patterning of Nanomaterials using Electrostatic Interaction in Solution (2012)
  • 著者名/発表者名: Shinya Kumagai, Shigeo Yoshii, Naofumi Okamoto, Kazuaki Nishio, Ichiro Yamashita
  • 学会等名: 2012 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference
  • 発表場所: Hawaii, USA
  • 年月日: 2012-10-19
• [学会発表] Self-Assembly Patterning of Nanomaterialsusing Electrostatic Interaction (2012)
  • 著者名/発表者名: Shinya Kumagai, Shigeo Yoshii, Naofiimi Okamoto, Kazuaki Nishio, Ichiro Yamashita
  • 学会等名: International Union of Materials Research Societies - International Conference on Electronic Materials 2012 (IUMRS-ICEM 2012)
  • 発表場所: Pacifico Yohokama
  • 年月日: 2012-09-24
• [備考] 豊田工業大学 マイクロメカトロニクス研究室 ホームページ
  • URL: http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
• [備考] 豊田工業大学 研究者情報システム
  • URL: http://ttiweb.toyota-ti.ac.jp/public/user.php
• [備考] 豊田工業大学 研究者一覧
  • URL: http://ttiweb.toyota-ti.ac.jp/public/user.php
• [備考] 豊田工業大学 マイクロメカトロニクス研究室 ホームページ
  • URL: http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
• [備考]
  • URL: http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm