| 研究課題/領域番号 |
24710143
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
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研究代表者 |
高橋 一浩 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (90549346)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | MEMS/NEMS / サブ波長格子 / 表面プラズモン / カラーフィルタ / CMOS-MEMS / LSI-MEMS集積化 / 構造色 / 導波モード共鳴 / 集積化CMOS-MEMS / 可変フィルタ |
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| 研究概要 |
本研究では、構造色を変化させるNEMS可変カラーフィルタへ、表面プラズモン共鳴効果を取り入れることで、高い透過率、低消費電力を特徴とする可変プラズモンフィルタの開発を行った。プラズマ周波数の高いアルミのナノワイヤを幅250 nmとし、周期を400 nmから600 nmまで格子周期の異なるカラーフィルタを作製した。透過スペクトルより、格子周期が450 nmから600 nmまで広げることで青色から緑色、黄色、赤色の透過光を確認した。TM波を入射し透過スペクトルを測定した際の透過率は最大56 %であった。これはバルク基板に固定された従来の表面プラズモンカラーフィルタと同程度の透過率を実現した。
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