| 研究課題/領域番号 |
24740371
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 大阪大学 (2013)
九州大学 (2012) |
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研究代表者 |
内田 儀一郎 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90422435)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
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| キーワード | 微粒子プラズマ / 帯電微粒子輸送 / ナノ粒子含有薄膜 / ナノ粒子量子ドットデバイス / 孤立波揺動電界 |
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| 研究概要 |
ナノ粒子含有薄膜作製のための微粒子プラズマを用いた新規ボトムアッププロセスの開発を行った．その結果，以下の3つの成果を得た．1) プラズマ中微粒子発生にともない，プラズマパラメータの変化に起因したAr準安定粒子数密度の急激な増大を見いだした．また，微粒子群中において空洞構造を観測し，その形成メカニズムを明らかにした．2) 微粒子浮上領域にパルス的に電界を印加することにより，プラズマ中微粒子群の長距離輸送（1 cm以上）に成功した．3) プラズマ中で微粒子を生成し，基板に輸送する新規プラズマプロセスにより，粒径6-11 nmの結晶Siナノ粒子を含有する薄膜の堆積に成功した．
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