レーザピーニングによる薄膜金属材料の局所改質

• 研究課題/領域番号: 24760070
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 青野 祐子 東京工業大学, 理工学研究科, 助教 (20610033)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2013年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円); 2012年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
• キーワード: レーザピーニング / 薄膜金属材料

研究概要

レーザピーニング（LP)は機械特性向上のための表面処理機能である．従来，バルク材に適用されてきたLPを，薄膜金属材料の特性向上の新しい手法として適用することを本研究の目的とする．従来のLPはプラズマの拡散を閉じ込める媒質として水が用いられてきたが，薄膜材料を水中に設置することはデメリットが多い．そこで，まず固体媒質を用いたドライLPの検討を行い，ガラスを媒質とすることで従来法と同等の効果を達成した．次に，固体媒質で問題となる媒質の試料形状への追従性についても0.1mm以下の媒質－試料間ギャップでLPの効果を確認した．最後に，本手法を銅薄膜へ適用し，硬さの向上を確認した．

研究成果

• [学会発表] 薄膜金属へのドライ環境レーザピーニングの適用 (2014)
  • 著者名/発表者名: 山本祐幸,青野祐子,平田敦,戸倉和
  • 学会等名: 2014年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京大学
• [学会発表] 薄膜金属へのドライ環境レーザピーニングの適用 (2014)
  • 著者名/発表者名: 山本祐幸，青野祐子，平田敦，戸倉和
  • 学会等名: 2014年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京大学
• [学会発表] 薄膜金属材料適用に向けたドライレーザピーニングの検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 青野祐子,山本祐幸,樋野悠人,平田敦,戸倉和
  • 学会等名: 日本機械学会第21回機械材料・材料加工技術講演会
  • 発表場所: 首都大学東京
• [学会発表] 高分子フィルムによるドライ環境レーザピーニング (2013)
  • 著者名/発表者名: 山本祐幸,青野祐子,平田敦,戸倉和
  • 学会等名: 2013年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 関西大学
• [学会発表] 高分子フィルムによるドライ環境レーザピーニング (2013)
  • 著者名/発表者名: 山本祐幸，青野祐子，平田敦，戸倉和
  • 学会等名: 2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 関西大学
• [備考]
  • URL: http://musashi.ctrl.titech.ac.jp/