研究課題
若手研究(B)
横波を励振する圧電薄膜は液体の粘性，導電率センサなどに応用することができる．センサ応用の際には，高いすべりモード電気機械結合係数k15を持つ膜が要求される．本研究では， c軸傾斜Sc添加AlN薄膜を作製し，結晶配向性，k’15を評価し，Scを添加することでk’15が増幅するか調査した．また，薄膜中のSc濃度を変化させたc軸傾斜ScAlN薄膜を作製し，k’15，擬似横波速度のSc濃度依存性についても評価した．その結果、c軸傾斜Sc添加AlN薄膜のk’15は16.8 %となり，AlN単結晶の約3.2倍の値を示した．薄膜を使った横波励振効率では最大の値であり，ワールドレコードである．
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