| 研究課題/領域番号 |
24760097
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
伊東 聡 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (00624818)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 計測工学 / ナノメトロロジー / 寸法計測 / シェアフォース / プロービング / スタイラス / ナノピペット / 微小球 / 形状計測 / 接触検出 / マイクロノズル / マイクロスリット / 全方位検出 |
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| 研究概要 |
本研究ではマイクロメートルスケールの微細構造物の寸法計測のため全方位高感度検出型ナノピペットプローブの開発に取り組んだ。中空のガラス製ナノピペットの先端に高精度ガラス微小球を取り付けることによって、直径10マイクロメートル未満の微小な先端プローブ球を有する全方位検出マイクロスタイラスを作製した。また測定対象との接触検出にはシェアフォース検出を応用した表面水膜層との相互作用力検出を用いるた。開発したプロービングシステムは全方向に対してナノメートルオーダーの変位検出分解能とサブナノメートルオーダーのプロービング精度で計測できることを実証した。
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