高精細ステレオ三次元測定システムによるオンマシン３Ｄ砥石性状解析

• 研究課題/領域番号: 24760099
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 茨城大学
• 研究代表者: 尾嶌 裕隆 茨城大学, 工学部, 講師 (90375361)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
• キーワード: 3次元計測 / ステレオ視法 / ウェーブレット変換 / 砥石トポグラフィ

研究成果の概要

本研究では，ステレオ法による砥石作業面トポグラフィの3次元計測が可能であり，かつ研削加工機から砥石を脱着させることなくオンマシンで計測できるシステムを開発した．本システムにより得られた試料の3次元形状をレーザ顕微鏡のものと比較して，水平方向に-3.7%，垂直方向に+0.8%の精度で計測できていることを確認した．また，研削加工における砥石作業面トポグラフィの追跡観察を行い，加工による砥粒切れ刃の挙動を3次元データによって確認した．さらに，砥粒切れ刃の形状や分布の定量的な解析を行った．

研究成果

• [雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆，周立波，清水淳
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 79 号: 7 ページ: 677-681
  • DOI: 10.2493/jjspe.79.677
  • NAID: 130003385012
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり
• [雑誌論文] Research on digital filters for Si wafer surface profile measurement - Design of filters by total variation - (2012)
  • 著者名/発表者名: Hirotaka Ojima
  • 雑誌名: Advanced Materials Research 巻: 565 ページ: 656-661
  • DOI: 10.4028/www.scientific.net/amr.565.656
  • 査読あり
• [学会発表] ステレオ法を用いた研削砥石作業面トポグラフィの機上 3 次元計測システムの開発に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆, 長山拓矢, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平
  • 学会等名: 2015年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2015-03-17 – 2015-03-19
• [学会発表] ステレオ法による研削砥石作業面の機上3次元計測システム開発に関する研究 (2014)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆, 長山拓矢, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平
  • 学会等名: 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 鳥取大学
  • 年月日: 2014-09-16 – 2014-09-18
• [学会発表] Development of Areal Wavelet Transform for the 2D images (2014)
  • 著者名/発表者名: Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Taiju Suzuki
  • 学会等名: 15th International conference on Precision Engineering (ICPE2014)
  • 発表場所: ホテル日航金沢
  • 年月日: 2014-07-23 – 2014-07-25
• [学会発表] ステレオ画像による砥石作業面トポグラフィの機上3次元計測システム開発に関する研究 (2014)
  • 著者名/発表者名: 長山拓矢, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 清水 淳, 周 立波
  • 学会等名: 2014年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京大学 本郷キャンパス(東京都)
• [学会発表] ２次元ディジタルフィルタを用いた面領域ウェーブレット変換の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆, 鈴木泰樹, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲
  • 学会等名: 2014年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京大学 本郷キャンパス(東京都)
• [学会発表] 面領域ウェーブレット変換と２次元ディジタルフィルタの開発に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆, 鈴木泰樹, 周 立波, 清水 淳, 小貫哲平
  • 学会等名: 2013年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 関西大学 千里山キャンパス(大阪府)
• [学会発表] Development of Areal Wavelet Transform applying to the 2D image (2013)
  • 著者名/発表者名: Taiju Suzuki
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス
• [学会発表] ステレオ法を用いた砥石作業面トポグラフィのオンマシン3次元計測システム開発に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス
• [学会発表] Wavelet変換を用いた画像処理によるキズ検出法に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 尾嶌裕隆
  • 学会等名: 第9回生産加工・工作機械部門講演会
  • 発表場所: 秋田県立大学 本荘キャンパス
• [学会発表] 2次元画像に適応するための面領域ウェーブレット変換の開発
  • 著者名/発表者名: 鈴木泰樹
  • 学会等名: 第14回高エネ研メカ・ワークショップ
  • 発表場所: 高エネルギー加速器研究機構(茨城県)
• [学会発表] スレテオ視法による砥石砥粒形状の3次元計測
  • 著者名/発表者名: 野口秀崇
  • 学会等名: 第20回茨城講演会
  • 発表場所: 茨城大学・日立キャンパス