| 研究課題/領域番号 |
24760113
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工 |
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研究代表者 |
吉冨 健一郎 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 (40546149)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 石英ガラス基板 / 反り / 冷凍ピンチャック / 平坦化研磨 / 冷凍液 / 凝固固着 / マスク基板 / 薄型基板 / 石英ウエハ |
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| 研究成果の概要 |
薄型基板の反りは平坦性を劣化させるため，反りを除去する加工が必要である．本研究の目的は，石英ガラス基板を対象にした無反り基板創成技術の確立である．従来のチャックでは基板を固定するときに必ず変形し，取り外し時に変形が復元するので反りの除去が困難であった．そこで，17℃で凝固する冷凍液の凝固固着力を利用して基板を変形させずに固定する手法を確立した．新技術として，冷凍ピンチャック，霧状での冷凍液塗布，ピン間冷却水が挙げられる．実験により，100μm以上反った基板を凝固時にほぼ変形なしに固定できること，凝固固着力は研磨に耐えうることを明らかにした．よって，無反り基板創成の基盤技術確立が達成された．
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