マイクロアイスジェット洗浄ノズルにおける氷生成率の制御

• 研究課題/領域番号: 24760153
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 流体工学
• 研究機関: 福岡県工業技術センター
• 研究代表者: 周善寺 清隆 福岡県工業技術センター, 機械電子研究所, 研究員 (00416504)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
• キーワード: 超音速 / ノズル / 氷核生成 / 洗浄 / 剥離 / レジスト / 超音速流れ / アイス / 除去

研究成果の概要

半導体製造工程におけるレジスト剥離へのマイクロアイスジェットの適用を検討するために、圧縮空気圧力が1.4MPaにおける膜剥離性能を評価し、ノズル出口における粒子の速度について位相レーザドップラー分析計により調べた。レーザプリンタの感光体膜を対象として、スロートからノズル出口までの長さLが150～300mmの範囲において剥離試験を実施したところ、L=250mmにおいて穴深さは最大となった。一方で、ノズル出口での粒子の速度はL=200mmで最大となった。本研究結果より、マイクロアイスジェットの剥離性能は粒子速度と氷生成率が強く影響し、ノズル長さにより主に制御できることが明らかとなった。