| 研究課題/領域番号 |
24760282
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 岡山県立大学 |
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研究代表者 |
岸原 充佳 岡山県立大学, 情報工学部, 准教授 (50336905)
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| 連携研究者 |
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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| キーワード | ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管フィルタ / X線リソグラフィ / 短ミリ波 / テフロン導波管 / 微細加工 / 電解めっき |
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| 研究概要 |
本研究では，サブミリ波領域(300GHz～)へ直接応用できる構成技術の確立を行うことを目的に，放射光直接エッチング法で微細テフロン構造体を形成し，その表面に金属膜を蒸着させることにより短ミリ波帯(G帯,140-220GHz)導波管コンポーネントを試作・評価した．
周波数3逓倍器と検波器を組み合わせてG帯信号を得る測定系を構築し，伝送損失を評価した．これにより，導波管として機能していることを確認した．また，中心周波数180GHzのフィルタ回路を試作した．測定により，フィルタの通過特性を確認することができ，本製作プロセスの短ミリ波帯での有効性を示すことができた．
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