単結晶ダイヤモンドを用いた革新的マイクロ／ナノマシンスイッチの創製

• 研究課題/領域番号: 24760285
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 独立行政法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 廖 梅勇 独立行政法人物質・材料研究機構, 光・電子材料ユニット, 主任研究員 (70528950)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2012年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
• キーワード: MEMS・NEMS / マイクロマシン / ダイヤモンド

研究概要

ダイヤモンドは、弾性定数、硬度、熱伝導率、絶縁性など物質中で最高値を有する材料であり、既存の材料をはるかに凌ぐ省エネルギー、大電力、高性能化、高信頼性化及び耐環境のMEMS/NEMS実現が期待できる。本研究は、単結晶ダイヤモンドＭＥＭＳ/NEMSに関する微細加工技術を開発し、新しいナノマシンスイッチを作製した。ダイヤモンドナノマシンスイッチは、マイクロ／ナノマシンで問題となる表面固着はほとんど観測されず、高い再現性および高い信頼性を実現した。

研究成果

• [雑誌論文] CVD Diamond micro mechanical materials, properties, and devices (2014)
  • 著者名/発表者名: A. Sumant, O. Auciello, M. Y. Liao, O.A. Williams
  • 雑誌名: MRS Bulletin 巻: (in press)
  • 査読あり
• [雑誌論文] CVD Diamond micro mechanical materials, properties, and devices (2014)
  • 著者名/発表者名: . Sumant, O. Auciello, M. Y. Liao, O.A. Williams,
  • 雑誌名: MRS Bulletin 巻: 7 ページ: 1-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Diamond NEMS switch : experimental and modeling (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Y. Liao, Z. W. Rong, M. Imura, Y. Koide
  • 雑誌名: Diamond and Related Materials 巻: 24 ページ: 69-73
  • 査読あり
• [雑誌論文] 単結晶ダイヤモンドNEMSスイッチ (2012)
  • 著者名/発表者名: 廖梅勇,菱田俊一,小泉聡,小出康夫
  • 雑誌名: NEW DIAMOND 巻: 104 ページ: 28-29
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanoelectromechanical switch fabricated from single crystal diamond: Experiments (2012)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao, Zouwen Rong, S. Hishita, M. Imura,
  • 雑誌名: DIAMOND AND RELATED MATERIALS 巻: 24 ページ: 69-73
  • 査読あり
• [雑誌論文] Comprehensive Investigation of Single Crystal Diamond Deep-Ultraviolet Detectors (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Liao, L. Sang, T. Teraji, M. Imura, J. Alvarez and Y. Koide
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 51 号: 9R ページ: 90115-90115
  • DOI: 10.1143/jjap.51.090115
  • 査読あり
• [学会発表] AlN/ダイヤモンドヘテロ接合FETとMEMSスイッチ (2013)
  • 著者名/発表者名: 小出康夫, Meiyong Liao,井村将隆
  • 学会等名: 応用物理学会応用電子物性分科会研究例会
  • 発表場所: 金沢工大虎ノ門キャンパス
  • 年月日: 2013-07-26
• [学会発表] Diamond MEMS (2013)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao, Yasuo Koide
  • 学会等名: The 9^<th> IUPAC International Symposium on Novel Materials and Their Synthesis
  • 発表場所: Shanghai, China
  • 招待講演
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンドナノマシン共振特性のサイズ依存性 (2013)
  • 著者名/発表者名: MeiyongLiao,戸田雅也, Liwen Sang,井村将隆,菱田俊一,田中秀治,小出康夫
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学,京都
• [学会発表] Scaling single crystal diamond MEMS/NEMS resonators (2013)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao, M Toda, L. Sang, M. Imura, S. Hishita, N. Ikeda, STanaka, Y. Koide
  • 学会等名: New Diamond and Nanocarbon (NDNC2013) conference
  • 発表場所: Novetel Singapore
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンドナノマシン共振特性のサイズ依存性 (2013)
  • 著者名/発表者名: MeiyongLiao, 戸田 雅也, SANGLiwen, 井村将隆, 菱田俊一, 田中秀治, 小出康夫
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学京田辺キャンパス
• [学会発表] AlN／ダイヤモンドヘテロ接合FETとMEMSスイッチ (2013)
  • 著者名/発表者名: 小出康夫, MeiyongLiao, 井村将隆
  • 学会等名: 応用物理学会応用電子物性分科会研究例会
  • 発表場所: 同志社大学
• [学会発表] Scaling single crystal diamond MEMS/NEMS resonators (2013)
  • 著者名/発表者名: ③ Meiyong Liao, M Toda, L. Sang, M. Imura, S. Hishita, N. Ikeda, STanaka, Y. Koide
  • 学会等名: New Diamond and Nanocarbon (NDNC2013) conference
  • 発表場所: Singapore
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド機械共振特性の研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: MeiyongLiao, 戸田 雅也, SANGLiwen, 井村将隆, 池田直樹, 田中秀治, 小出康夫
  • 学会等名: 2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
• [学会発表] ダイヤモンド・ナノマシンスイッチの創製 (2012)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao, Liwen Sang,菱田俊一,池田直樹,井村将隆,小泉聡,小出康夫
  • 学会等名: 第25回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 産業技術総合研究所つくば共用講堂
• [学会発表] Single crystal diamond MEMS/NEMS devices (2012)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao
  • 学会等名: International Conference on Diamond and Carbon Materials
  • 発表場所: Granada, Spain
  • 招待講演
• [学会発表] Diamond MEMS and NEMS (2012)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao
  • 学会等名: NanoThailand 2012 Conference
  • 発表場所: Khon Kaen, Thailand
  • 招待講演
• [学会発表] ダイヤモンド・ナノマシンスイッチの創製 (2012)
  • 著者名/発表者名: MeiyongLiao, SANGLiwen, 菱田俊一, 池田直樹, 井村将隆, 小泉聡, 小出康夫
  • 学会等名: 第25回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 青山学院大学
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド・マイクロマシニングの研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao, SANGLiwen, 池田直樹, 井村将隆, 小出康夫
  • 学会等名: 2012年 秋季 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 松山大学
• [学会発表] Single crystal diamond MEMS/NEMS: surface machining devices and simulation (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Y.Liao, L. Sang, M. Imura, N. Ikeda, S. Hishita, Y. Koide
  • 学会等名: New Diamond and Nano Carbons 2012
  • 発表場所: San Juan, Puerto Rico
• [学会発表] Diamond MEMS (2012)
  • 著者名/発表者名: Meiyong Liao, S. Hishita, S. Koizumi, M. Imura, Y. Koide
  • 学会等名: Nanothailand 2012
  • 発表場所: Thailand, Konkon
  • 招待講演
• [学会発表] Single crystal diaomond MEMS/NEMS devices (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Y. Liao
  • 学会等名: , International Conference on Diamond and Carbon Materials
  • 発表場所: Granada, Spain
  • 招待講演