| 研究課題/領域番号 |
24760326
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 独立行政法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
雨宮 邦招 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 主任研究員 (60361531)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2013年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 計測機器 / 光カロリメータ / バイメタル / MEMS / 高速高感度 / 光吸収体 / レーザパワー / 計測標準 |
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| 研究概要 |
バイメタル熱変位センサによる高速高感度な熱型光パワー標準器の実現可能性について検討した。数 mm 角に及ぶ大面積のバイメタルセンサの熱弾性特性を有限要素法数値計算で評価した結果、同サイズの従来型熱電モジュール方式光カロリメータと比べて、等価ノイズパワー、及び応答時定数が一桁以上小さくなる設計を見出した。試作したセンサの評価実験結果もそれを支持するものであった。また熱型光センサの光吸収部として、吸収層付マイクロキャビティ型光吸収体が極低反射率を示す起源を突き止め、新規光吸収体の開発も行った。これらの成果により、高スループットな分光絶対光パワー測定につながるものと期待できる。
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