| 研究課題/領域番号 |
24760327
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 独立行政法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
沼田 孝之 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 主任研究員 (60420288)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2013年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2012年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | レーザ / 感度 / プロファイラ / CCD / 近赤外 / 高出力 / 光減衰器 / 均一性 / パワーメータ / CMOS / 減衰器 / パワー密度 / 校正 / ビームプロファイラ / ビーム診断 / ビームサイズ / イメージセンサ / レーザーパワー |
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| 研究成果の概要 |
イメージセンサを用いたレーザパワー測定技術の構築を目指し、イメージセンサの感度評価技術および高耐力光減衰技術を開発した。測定誤差要因となる画素間感度均一性について波長1064 nmと532 nmによる評価を行い、波長と露光時間への依存性を明らかにした。プリズム底面に発生させたエバネセント波の再結合特性を利用する光減衰器を開発し10 W、φ3 mmの高出力レーザに適用して-70 dB程度以上の減衰量を確認しつつ偏光依存性と減衰器透過前後におけるビームプロファイルを評価した。減衰器とイメージセンサを組み合わせたパワーメータを構築してレーザパワー測定実験により提案原理の妥当性を検証した。
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