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低エネルギー電子照射による半導体ナノ結晶の形成

研究課題

研究課題/領域番号 24760539
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 金属物性
研究機関高知工科大学

研究代表者

新田 紀子  高知工科大学, 公私立大学の部局等, 講師 (80412443)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2014年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2013年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2012年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
キーワード電子照射 / イオン照射 / ナノ結晶 / ナノ構造 / バリアント / 電子顕微鏡 / 集束イオンビーム / 半導体
研究成果の概要

化合物半導体GaSb(アンチモン化ガリウム)、InSb(アンチモン化インジウム)単結晶に低エネルギー(125 keV)の電子を100℃以上で照射したとき、内部に結晶方位のそろったナノサイズの微結晶が形成されることを新しく見出ている(Nitta et al., Philo. Mag. Lett., 2011)。このナノ結晶の形成メカニズムの解明が本研究の主たる目的である。そのために、GaSb、InSbに電子照射およびそれに加えてイオン照射を行い、その照射挙動についての知見を得た。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2015 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (10件) 備考 (5件)

  • [雑誌論文] Beam flux dependence of ion-irradiation-induced porous structures in III-V compound semiconductors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Nitta, T. Hasegawa, H. Yasuda, K. Sato, Q. Xu, T. Yoshiie, M. Taniwaki, and A. Hatta
    • 雑誌名

      Radiation Effects and Defects in Solids

      巻: 168 号: 4 ページ: 247-252

    • DOI

      10.1080/10420150.2012.737329

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 高アスペクト比InSb規則構造の作製2015

    • 著者名/発表者名
      石川修, 新田紀子, 谷脇雅文
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2015-03-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Miniaturization of ion beam irradiation induced periodic nanostructures on germanium surface2014

    • 著者名/発表者名
      K. Morita, K. Shigematsu, A. Matsumoto, N. Nitta, M. Taniwaki
    • 学会等名
      2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston
    • 年月日
      2014-12-01
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] イオンビーム照射によるゲルマニウム表面周期構造の微細化の検討2014

    • 著者名/発表者名
      森田憲治, 重松晃次, 松本亜里紗, 新田紀子, 谷脇雅文
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-09-26
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] イオンビーム照射による半導体多孔質構造のサイズ制御

    • 著者名/発表者名
      新田紀子, 重松晃次, 谷脇雅文, 八田章光
    • 学会等名
      日本金属学会第149回秋期大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 合物半導体のイオンビーム照射効果の解明とその応用

    • 著者名/発表者名
      新田紀子, 重松晃次, 谷脇雅文, 八田章光, 保田英洋
    • 学会等名
      第33回ナノテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] III-V族化合物半導体の電子照射による構造変化

    • 著者名/発表者名
      西内大貴, 新田紀子, 谷脇雅文, 八田章光, 保田英洋
    • 学会等名
      日本金属学会2012年秋期大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 低エネルギー電子照射によるナノ結晶形成の照射温度依存性

    • 著者名/発表者名
      新田紀子, 西内大貴, 谷脇雅文, 八田章光, 保田英洋
    • 学会等名
      日本金属学会2012年秋期大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Structural changes induced by low-energy electron irradiation in III-V compound semiconductors

    • 著者名/発表者名
      T. Nishiuchi, N. Nitta, M. Taniwaki, A. Hatta, and H. Yasuda
    • 学会等名
      25th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS25)
    • 発表場所
      京都大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Temperature dependence of low-energy electron irradiation induced nanocrystal in GaSb

    • 著者名/発表者名
      N. Nitta, T. Nishiuchi, M. Taniwaki, A. Hatta, and H. Yasuda
    • 学会等名
      25th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS25)
    • 発表場所
      京都大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Effect of low-energy electron irradiation in InSb compound semiconductor

    • 著者名/発表者名
      N. Nitta, S. Sakai, T. Nishiuchi, M. Taniwaki, A. Hatta, K. Yoshida, and H. Yasuda
    • 学会等名
      Materials Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston, MA, USA
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [備考] 大学個人ホームページ

    • URL

      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/nnitta

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] 高知工科大学総合研究所ホームページ

    • URL

      http://rikut.kochi-tech.ac.jp

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] 大学個人ホームページ

    • URL

      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/nnitta

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [備考] 高知工科大学総合研究所ホームページ

    • URL

      http://rikut.kochi-tech.ac.jp

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [備考] 大学個人ホームページ

    • URL

      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/nnitta/

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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