| 研究課題/領域番号 |
24760723
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
原子力学
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| 研究機関 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 |
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研究代表者 |
大久保 猛 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門・高崎量子応用研究所・放射線高度利用施設部, 研究職 (40446456)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | イオンビーム / マイクロビーム / プロトンビーム / 加速レンズ / PBW / ナノビーム / ３次元加工 / 量子ビーム |
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| 研究成果の概要 |
三次元プロトンビーム描画（3D-PBW:Proton Beam Writing）による微細加工では、ビームのエネルギーを連続的に変えて加工深度が滑らかに変化する三次元構造を作製できる小型装置の開発とその広い普及が切望されている。加速レンズ系は各電極への印加電圧の比（加速比）が一定であれば焦点距離も近似的に一定であることから、ビーム焦点が加工試料表面からずれることなく連続的にビームのエネルギーを変化させることが可能である。実験及びシミュレーションによって、100keVから1MeVの範囲におけるどのエネルギーでもビームの焦点が固定されることを実証し、上記のエネルギー連続可変技術を確立した。
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