超小型ＥＣＲイオン源の設計指針構築に向けた多価イオンの計測・制御に関する研究

• 研究課題/領域番号: 24810029
• 研究種目: 研究活動スタート支援
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 量子ビーム科学
• 研究機関: 大島商船高等専門学校
• 研究代表者: 浅地 豊久 大島商船高等専門学校, その他部局等, 准教授 (70574565)
• 研究期間 (年度): 2012-08-31 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円); 2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
• キーワード: プラズマ / イオンビーム / 電子サイクロトロン共鳴

研究概要

電子サイクロトロン共鳴イオン源の小型化に関する設計指針構築に向けて，次の実験および設計を行った．最初に，プラズマ中のイオンの計測を行った．その実験において，He添加によるイオンのクーリング効果を確認した．また，プラズマチャンバーの中心軸上の磁場分布や半径方向の磁場分布に関するシミュレーションを行い，小型イオン源で使用する磁場を設計した．さらには，イオンビームのナノ材料プロセス応用として，フラーレン薄膜への鉄イオン照射を行い，鉄内包フラーレンの合成を確認した．

研究成果

• [雑誌論文] Fullerene-rare gas mixed plasmas in an electron cyclotron resonance ion source (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Asaji, T. Ohba, T. Uchida, H. Minezaki, S. Ishihara, R. Racz, M. Muramatsu, S. Biri, A. Kitagawa, Y. Kato, Y. Yoshida
  • 雑誌名: Review of Scientific instruments 巻: 85 号: 2
  • DOI: 10.1063/1.4847255
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design of a new electron cyclotron resonance ion source at Oshima National College of Maritime Technology (2014)
  • 著者名/発表者名: T.Asaji, N.Hirabara, T.Izumihara, T.Hitobo, T.Ohba, T.Nakamizu, T.Nakamura, M.Furuse, Y.Kato
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: Vol.85 号: 2
  • DOI: 10.1063/1.4847235
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synthesis of endohedral iron-fullerenes by ion implantation (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Minezaki, S. Ishihara, T. Uchida, M. Muramatsu, R. Racz, T. Asaji, A. Kitagawa, Y. Kato, S. Biri, Y. Yoshida
  • 雑誌名: Review of Scientific instruments 巻: 85 号: 2
  • DOI: 10.1063/1.4850756
  • 査読あり
• [雑誌論文] Status of the Bio-Nano ECRIS at Toyo University (2014)
  • 著者名/発表者名: T.Uchida, H.Minezaki, S.Ishihara, M.Muramatsu, R.Racz, T.Asaji, A.Kitagawa, Y.Kato, S.Biri, A.Drentje, Y.Yoshida
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: Vol.85 号: 2
  • DOI: 10.1063/1.4862212
  • 査読あり
• [学会発表] Fullerene-rare gas mixed plasmas in an electron cyclotron resonance ion source (2013)
  • 著者名/発表者名: T.Asaji, T.Ohba, T.Uchida, H.Minezaki, S.Ishihara, M.Muramatsu, R.Racz, S.Biri, A.Kitagawa, Y.Kato, Y.Yoshida
  • 学会等名: The 15^<th> International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ(千葉市)
  • 年月日: 2013-09-11
• [学会発表] Design of a new electron cyclotron resonance ion source at Oshima National College of Maritime Technology (2013)
  • 著者名/発表者名: T.Asaji, N.Hirabara, T.Izumihara, T.Hitobo, T.Ohba, T.Nakamizu, T.Nakamura, M.Furuse, Y.Kato
  • 学会等名: The 15^<th> International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ(千葉市)
  • 年月日: 2013-09-11
• [学会発表] Synthesis of endohedral iron-fullerene by ion implantation (2013)
  • 著者名/発表者名: H.Minezaki, K.Oshima, T.Uchida, M.Muramatsu, T.Asaji, A.Kitagawa, Y.Kato, R.Racz, S.Biri, and Y.Yoshida
  • 学会等名: The 15^<th> International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ(千葉市)
  • 年月日: 2013-09-11
• [学会発表] Status of the Bio-Nano ECRIS at Toyo University (2013)
  • 著者名/発表者名: T.Uchida, H.Minezaki, S.Ishihara, M.Muramatsu, R.Racz, T.Asaji, A.Kitagawa, Y.Kato, S.Biri, A.Drentje, Y.Yoshida
  • 学会等名: The 15^<th> International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ(千葉市)
  • 年月日: 2013-09-11
• [学会発表] ECRイオン源におけるフラーレンプラズマへの希ガス混合効果 (2013)
  • 著者名/発表者名: 浅地豊久,大葉常行,内田貴司,峰崎英和,大島康輔,村松正幸,Biri Sandor,北川敦志,加藤裕史,吉田善一
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2013-03-27
• [学会発表] Fullerene-rare gas mixed plasmas in an electron cyclotron resonance ion source
  • 著者名/発表者名: T. Asaji, T. Ohba, T. Uchida, H. Minezaki, S. Ishihara, M. Muramatsu, R. Racz, S. Biri, A. Kitagawa, Y. Kato, Y. Yoshida
  • 学会等名: The 15th International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ（千葉市）
• [学会発表] Design of a new electron cyclotron resonance ion source at OCMT
  • 著者名/発表者名: T. Asaji, N. Hirabara, T. Izumihara, T. Hitobo, T. Ohba, T. Nakamizu, T. Nakamura, M. Furuse, Y. Kato
  • 学会等名: The 15th International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ（千葉市）
• [学会発表] Synthesis of endohedral iron-fullerene by ion implantation
  • 著者名/発表者名: H. Minezaki, K. Oshima, T. Uchida, M. Muramatsu, T. Asaji, A. Kitagawa, Y. Kato, R. Racz, S. Biri, and Y. Yoshida
  • 学会等名: The 15th International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ（千葉市）
• [学会発表] Status of the Bio-Nano ECRIS at Toyo University
  • 著者名/発表者名: T. Uchida, H. Minezaki, S. Ishihara, M. Muramatsu, R. Racz, T. Asaji, A. Kitagawa, Y. Kato, S. Biri, A. Drentje, Y. Yoshida
  • 学会等名: The 15th International Conference on Ion Sources
  • 発表場所: 幕張メッセ（千葉市）
• [学会発表] ECRイオン源におけるフラーレンプラズマへの希ガス混合効果
  • 著者名/発表者名: 浅地豊久
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 神奈川工科大学