研究課題
研究活動スタート支援
電子サイクロトロン共鳴イオン源の小型化に関する設計指針構築に向けて,次の実験および設計を行った.最初に,プラズマ中のイオンの計測を行った.その実験において,He添加によるイオンのクーリング効果を確認した.また,プラズマチャンバーの中心軸上の磁場分布や半径方向の磁場分布に関するシミュレーションを行い,小型イオン源で使用する磁場を設計した.さらには,イオンビームのナノ材料プロセス応用として,フラーレン薄膜への鉄イオン照射を行い,鉄内包フラーレンの合成を確認した.
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Review of Scientific instruments
巻: 85 号: 2
10.1063/1.4847255
Review of Scientific Instruments
巻: Vol.85 号: 2
10.1063/1.4847235
10.1063/1.4850756
10.1063/1.4862212