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プラズマプロセスの機能的出力をもたらす多様な多次元分布の統一的理解

研究課題

研究課題/領域番号 24H00036
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
審査区分 大区分C
研究機関滋賀県立大学

研究代表者

酒井 道  滋賀県立大学, 工学部, 教授 (30362445)

研究分担者 村上 朝之  成蹊大学, 理工学部, 教授 (20323818)
伊藤 剛仁  東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授 (70452472)
田中 学  九州大学, 工学研究院, 准教授 (10707152)
神原 淳  大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (80359661)
平山 智士  滋賀県立大学, 工学部, 講師 (70759274)
研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2029-03-31
研究課題ステータス 交付 (2025年度)
配分額 *注記
204,230千円 (直接経費: 157,100千円、間接経費: 47,130千円)
2025年度: 48,750千円 (直接経費: 37,500千円、間接経費: 11,250千円)
2024年度: 53,950千円 (直接経費: 41,500千円、間接経費: 12,450千円)
キーワード産業用プラズマ / 熱力学 / 情報学 / エントロピー / スケールフリー性
研究開始時の研究の概要

プラズマ中では、そのパラメータは多次元空間をなし、様々な分布が観測される。本研究では、産業用プラズマにおいて、熱エネルギー・物理空間・粒子種を軸とする空間を取り上げ、これら3つの分布を実験的・解析的に調べる。そして、微粒子合成等の機能的出力に対し、そこに至るまでに介在する種々の分布特性の役割を明らかにする。ここで、分布の広がりにより生じる曖昧さや不可逆性・自発進行性の評価量として、熱力学的/情報学的エントロピーを導入して評価し、同時に粒子種分布に対しては頑強性の指標となるスケールフリー性を調べる。最終的に、プラズマプロセスの優位性を証明しうる多様な分布の広がりの解析法に関する学術を確立する。

研究実績の概要

プラズマ中では、そのパラメータは多次元空間をなし、様々な分布が観測される。本研究では、産業用プラズマにおいて、熱エネルギー・物理空間・粒子種を軸とする空間を取り上げ、これら3つの分布を実験的・解析的に調べる。そして、微粒子合成等の機能的出力に対し、そこに至るまでに介在する種々の分布特性の役割を明らかにする。ここで、分布の広がりにより生じる曖昧さや不可逆性・自発進行性の評価量として、熱力学的/情報学的エントロピーを導入して評価し、同時に粒子種分布に対しては頑強性の指標となるスケールフリー性を調べる。最終的に、プラズマプロセスの優位性を証明しうる多様な分布の広がりの解析法に関する学術を確立する。
本年度の具体的な研究実績は以下の通りである。まず、プラズマ中での微粒子合成過程について、気相部の観測と生成された微粒子サイズ・形状について検討を行った。圧力が高く熱平衡状態に近い系において、ガス流れの制御に応じて移流エントロピーが低下していることが推定され、その時に生成される粒子のサイズ分布が極めて狭く低エントロピー化していることがわかった。低温の大気圧プラズマを用いた場合でも同様に狭スペクトルの粒子サイズ分布が得られている。さらに、熱平衡プラズマについては、観測されるプラズマ発光形状の高速変化について、シャノンエントロピーでの評価を試みている。プラズマ形状のエントロピー評価については、迷路型プラズマ生成系における熱力学エントロピーの変化と情報学的エントロピーの減少分が一致することが明らかとなった。次に、粒子種分布については、分布の時間的な広がり具合をシャノンエントロピーで評価することに成功し、シラン等の分子性プラズマにおいてはエントロピーが常に増大する傾向を観測している。熱平衡プラズマの3次元数値計算においては、熱力学的な諸量を網羅的に獲得可能な計算が計算機内で再構成できた。

現在までの達成度
現在までの達成度

2: おおむね順調に進展している

理由

今年度について研究実施計画に掲げた項目はすべて達成しており、さらに新規の成果を得ることができた。計画していた内容として、微粒子合成過程における気相のエントロピー診断と生成微粒子の特性の関連性の検出に目途がついたこと、熱力学的エントロピーと情報学的エントロピーの相互の関連性が明らかになったこと、情報学的なエントロピー評価に加えて熱力学的エントロピーの実験的測定ならびに理論的推定の準備が整ったこと、このような内容から、計画通りの順調な研究の進展がなされた。
特に、分子性プラズマ中の粒子種分布の解析において、これまでに定性的に作成してきたプラズマ中の反応ネットワークを定量化し、粒子ごとの詳細な密度情報と反応経路の頻度による重み付けに成功した(学術論文発表済)。これにより、これまでに明らかになっていたネットワークのスケールフリー性に加えて、粒子種分布や反応経路をシャノンエントロピーと条件付エントロピーで評価し、結果として粒子密度スペクトルに対数正規分布を見出した。また機械学習モデルとの比較も行い、両者は良い一致をみた。これらは、ネットワークモデルと情報理論によるエントロピー評価(あいまいさの定量化)に成功したことを意味する。
また、計画していなかった成果も多く確認され、研究の波及効果が拡大している。例えば、化学反応に関するネットワークモデルと同様の手法を、果実(梨)の熟度判別に使用することに成功した。ここでは、色情報の分布はスケールフリー性とはならず、より複雑な頻度スペクトルが次数分布として現れ、それを機械学習の重み付けに活用することを着想して実装している。すなわち、当初の計画にとどまらず、新たな視点・応用先を見出す等、計画を超える成果を得た。
このように、本研究を核として、予想以上に多くの波及効果を伴って、研究成果の展開を図ることに成功している。

今後の研究の推進方策

2024年度、計画通りに研究が進捗したのに続き、2025年度も計画通りに研究を遂行する。
より具体的には、2024年度に浮かび上がってきたプラズマプロセスの描像、すなわち、産業応用プラズマは低エントロピー状態でのエネルギー投入が可能であることと、熱化するエントロピー部が中性粒子に排出可能であるため、低エントロピー性と高い機能性を維持可能であること、という説明について、より多くの対象について適用可能性を見極めていきたい。そして、同様あるいは別の機構の発現の可能性も視野に入れ、計画通りに検討を進める。
このような内容について、タイムリーに成果報告を行うため、専用のホームページを新設した。学術論文発表および学会発表を積極的に行うとともに、成果の発信と社会還元に引き続き努めていく。

報告書

(3件)
  • 2024 研究概要(採択時) ( PDF )   審査結果の所見   実績報告書
  • 研究成果

    (45件)

すべて 2025 2024 その他

すべて 雑誌論文 (10件) (うち国際共著 2件、 査読あり 10件、 オープンアクセス 6件) 学会発表 (33件) (うち国際学会 22件、 招待講演 11件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Experimental characterization of a manipulated metallic plate array supporting spoof surface plasmon polaritons in the W-band2025

    • 著者名/発表者名
      Francisco Pizarro, Go Itami and Osamu Sakai
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 111 号: 8

    • DOI

      10.1103/physrevb.111.l081113

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Statistical measure of dispersity in complex weighted networks of low temperature plasma chemistry2025

    • 著者名/発表者名
      Kota Hamano, Shigeyuki Miyagi, Tomoyuki Murakami, Tsuyohito Ito and Osamu Sakai
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Complexity

      巻: 6 号: 1 ページ: 015019-015019

    • DOI

      10.1088/2632-072x/adc35e

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Influence of radiative heat transfer on magnetic rotary arcs2025

    • 著者名/発表者名
      Makoto Nobuki, Satoshi Hirayama and Yoshitaka Inui
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

      巻: (in press) 号: 8 ページ: 1315-1322

    • DOI

      10.1002/tee.70019

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Current-assisted low-temperature silver sinter bonding to silicon carbide by utilizing ion migration2025

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiro Matsuda, Tomoki Matsuda, Makoto Kambara and Akio Hirose
    • 雑誌名

      Materials and Design

      巻: 252 ページ: 113780-113780

    • DOI

      10.1016/j.matdes.2025.113780

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Evaluation of thermal anisotropic evolution in the sinter structure of direct sinter joining to silicon via coupled microstructural characterizations2025

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Matsuda, Ryotaro Seo, Akihisa Takeuchi, Kentaro Uesugi, Masahiro Yasutake, Makoto Kambara and Akio Hirose
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering A

      巻: 923 ページ: 147692-147692

    • DOI

      10.1016/j.msea.2024.147692

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Lowering temperature of Cu sinter bonding under low-pressure in ambient air by is-situ generation and reduction of Cu2O nanoparticles2025

    • 著者名/発表者名
      Miwa Oba, Tomoki Matsuda, Masashi Dougakiuchi, Shio Okubo and Makoto Kambara
    • 雑誌名

      Journal of Material Science: Materials in Electronics

      巻: 36 号: 4 ページ: 291-291

    • DOI

      10.1007/s10854-025-14352-7

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Machine learning evaluation of fruit ripeness with multidimensional sparse-dataset calibration2024

    • 著者名/発表者名
      Shinya Ueno, Osamu Sakai and Takuya Morimoto
    • 雑誌名

      Applied Engineering in Agriculture

      巻: 40 号: 5 ページ: 501-514

    • DOI

      10.13031/aea.15899

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electric field and rotational temperature measurements based on electric field-induced coherent anti-Stokes Raman scattering in visible region (E-CARSv) in hydrogen discharge plasmas2024

    • 著者名/発表者名
      Takeru Koike, Hitoshi Muneoka, Kazuo Terashima and Tsuyohito Ito
    • 雑誌名

      Physics of Plasmas

      巻: 31 号: 11 ページ: 1145011-5

    • DOI

      10.1063/5.0232686

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Temperature measurement method with line and continuum emissions in Ar-N<sub>2</sub> DC arc2024

    • 著者名/発表者名
      Takemoto Yuki、Tanaka Manabu、Watanabe Takayuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 11 ページ: 116001-116001

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad8997

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cluster-assisted mesoplasma chemical vapor deposition for fast epitaxial growth of SiGe/Si heterostructures: A molecular dynamics simulation study2024

    • 著者名/発表者名
      Wen-bo Wang, Wenfang Li, Ryoshi Ohta, Makoto Kambara
    • 雑誌名

      Materials

      巻: 17 号: 10 ページ: 2448-2448

    • DOI

      10.3390/ma17102448

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] Revisiting ion velocity distribution in the cathode sheath of direct-current discharges by entropy analysis2025

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito
    • 学会等名
      17th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2025 and IC-PLANTS2025)
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Structurally-controlled NbC nanoparticles production with plasma spray chemical vapor deposition2025

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Nishi, Toshimi Tanaka, Akira Takeuchi, Masashi Dougakiuchi, Kenichi Fukuda, Xinliang Yang, Hari Nadendla and Makoto Kambara
    • 学会等名
      17th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2025 and IC-PLANTS2025)
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 低温プラズマの複雑性評価 ―ネットワークとエントロピー活用―2025

    • 著者名/発表者名
      酒井道
    • 学会等名
      第42回プラズマプロセシング研究会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] メタ分布の理解に基づく熱プラズマの時空間特性の解明2025

    • 著者名/発表者名
      田中学,渡辺隆行
    • 学会等名
      第42回プラズマプロセシング研究会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] カーボンニュートラル実現に貢献するプラズマスプレー技術2025

    • 著者名/発表者名
      神原淳
    • 学会等名
      グリーンDXプラズマコンソーシアム講習会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 低温プラズマ中で成長する化学反応ネットワーク2025

    • 著者名/発表者名
      南智貴, 村上朝之
    • 学会等名
      第72回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] 水蒸気雰囲気における可視光検出型電界誘起コヒーレントアンチストークスラマン散乱2025

    • 著者名/発表者名
      弘法堂莉彩, 小池健, David Pai, 宗岡均, 寺嶋和夫, 伊藤剛仁
    • 学会等名
      第72回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] 機械学習を用いた大気圧非平衡プラズマの発光分光解析によるガス組成推定2025

    • 著者名/発表者名
      田村陸, 高松周平, 宗岡均, 伊藤剛仁, 寺嶋和夫
    • 学会等名
      第72回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] Recent developments of thermal plasma generation and its applications2024

    • 著者名/発表者名
      Manabu Tanaka and Takayuki Watanabe
    • 学会等名
      Interdisciplinary Exchange Workshop for Future of Thailand and Japan
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Maze-solving by micro-channel plasma and its analysis based on Boltzmann-Gibbs and Shannon entropies2024

    • 著者名/発表者名
      Osamu Sakai and Toshifusa Karasaki
    • 学会等名
      12th International Workshop on Microplasmas
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Spatial plasma configuration in plasma metamaterials2024

    • 著者名/発表者名
      Osamu Sakai, Go Itami and Yohei Sanami
    • 学会等名
      12th International Workshop on Microplasmas
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electric-field-induced coherent anti-Stokes Raman scattering in visible region under near-atmospheric-pressure hydrogen microplasma environment2024

    • 著者名/発表者名
      Takeru Koike, Hitoshi Muneoka, Kazuo Terashima and Tsuyohito Ito
    • 学会等名
      12th International Workshop on Microplasmas
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical simulation of ionization wave propagation in an atmospheric pressure plasma jet2024

    • 著者名/発表者名
      Tomoyuki Murakami, Shota Okada, Sinead Mannion and Thomas Field
    • 学会等名
      12th International Workshop on Microplasmas
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Thermal plasma processing for material synthesis and environmental applications2024

    • 著者名/発表者名
      Manabu Tanaka and Takayuki Watanabe
    • 学会等名
      The 5th Global Congress on Microwave Energy Applications 2024
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Visualization of thermal plasma fluctuation for material processing2024

    • 著者名/発表者名
      Manabu Tanaka and Takayuki Watanabe
    • 学会等名
      The 1st Asian Symposium for Building future of Plasma
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fundamental studies for new device applications in two-dimensional plasmonic crystals through analytical demonstrations in the submillimeter-wave band2024

    • 著者名/発表者名
      Go Itami and Osamu Sakai
    • 学会等名
      14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Design of plasma shapes for metamaterials, chemical filters, and maze-solvers2024

    • 著者名/発表者名
      Osamu Sakai
    • 学会等名
      21th International Congress on Plasma Physics
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Numerical modeling of the effects of reactive species on immune cell behavior2024

    • 著者名/発表者名
      Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      10th International Conference on Plasma Medicine
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical modeling on the mechanism of plasma-induced cell death2024

    • 著者名/発表者名
      Ippei Saito, Motohiro Tomita and Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      10th International Conference on Plasma Medicine
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical simulation of discharge behavior and network analysis of reaction chemistry in an atmospheric plasma jet2024

    • 著者名/発表者名
      Tomoyuki Murakami, Tomiki Minami, Shota Okada, Sinead Mannion and Thomas Field
    • 学会等名
      The 77th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Statistical analysis of growing chemical reaction networks in low-temperature plasmas2024

    • 著者名/発表者名
      Tomiki Minami, Ippei Saito, Motohiro Tomita, Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      The 77th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical simulation of ionization wave propagation in an atmospheric plasma jet2024

    • 著者名/発表者名
      Shota Okada, Tomiki Minami, Motohiro Tomita, Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      The 77th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electric field measurements in high-pressure environments via electric-field-induced coherent anti-Stokes Raman scattering in visible region2024

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Complexity analysis on the chemical reaction network of low-temperature plasmas2024

    • 著者名/発表者名
      Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      17th International Conference on Plasma Science and Applications
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Statistical analysis of complex chemical reaction networks in low-temperature plasmas2024

    • 著者名/発表者名
      Tomiki Minami, Ippei Saito, Motohiro Tomita, Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      45th International Symposium on Dry Process
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Rectification of plasma flow for homogeneous formation of Si nanoparticles and its effect on lithium-ion battery performance2024

    • 著者名/発表者名
      Makoto Kambara, Mizuki Yamanaka, Toshimi Tanaka, Masashi Dougakiuchi and Kenichi Fukuda
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Quantitative estimation of chemical reaction systems represented by weighted networks based on Shannon entropy2024

    • 著者名/発表者名
      Kota Hamano, Shigeyuki Miyagi, Tomoyuki Murakami, Tsuyohito Ito and Osamu Sakai
    • 学会等名
      The Thirteenth International Conference on Complex Networks and their Applications
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Feasibility of in-reactor axial cyclone plasma flow rectification for improvement in uniformity of Si nanoparticle production2024

    • 著者名/発表者名
      Masashi Dougakiuchi, Mizuki Yamanaka, Toshimi Tanaka, Akira Takeuchi, Kenichi Fukuda and Makoto Kambara
    • 学会等名
      The 13th Asian Thermal Spray Conference 2024
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 次世代LiB特性向上に資するSiナノ粒子生成最適化のためのプラズマスプレー整流性指標の検討2024

    • 著者名/発表者名
      道垣内将司,山中瑞貴,田中暁巳,竹内啓,福田健一,神原淳
    • 学会等名
      第85回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] Entropy of ion velocity distribution in collisional environments2024

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito and Osamu Sakai
    • 学会等名
      第34回MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] Laser diagnostics of electric field in near-atmospheric pressure water vapor environments2024

    • 著者名/発表者名
      Takeru Koike, Lisa Kobodo, Hitoshi Muneoka, Kazuo Terashima and Tsuyohito Ito
    • 学会等名
      第34回MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] 全固体LiB電池のSi活物質粒径と電極膨張収集挙動の時空間的均質性の相関2024

    • 著者名/発表者名
      神原淳,萩原翼,太田遼至
    • 学会等名
      第34回MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [学会発表] Statistical analysis of growing chemical reaction networks in low-temperature plasmas2024

    • 著者名/発表者名
      Tomiki Minami, Ippei Saito, Motohiro Tomita and Tomoyuki Murakami
    • 学会等名
      第34回MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [備考] 滋賀県立大学ホームページ(科学研究費補助金・基盤研究(S))(日本語版)

    • URL

      https://www.ict.usp.ac.jp/sciress/jp/

    • 関連する報告書
      2024 実績報告書
  • [備考] 滋賀県立大学ホームページ(科学研究費補助金・基盤研究(S))(英語版)

    • URL

      https://www.ict.usp.ac.jp/sciress/en/

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公開日: 2024-04-05   更新日: 2025-12-26  

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