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超磁歪材料/ダイヤモンドMEMS異種接合用いた革新的な磁気イメージセンサの創製

研究課題

研究課題/領域番号 24H00287
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

廖 梅勇  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主席研究員 (70528950)

研究分担者 戸田 雅也  東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)
研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2029-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
48,100千円 (直接経費: 37,000千円、間接経費: 11,100千円)
2025年度: 11,050千円 (直接経費: 8,500千円、間接経費: 2,550千円)
2024年度: 16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
キーワードダイヤモンド / MEMS / 磁気センサ
研究開始時の研究の概要

次世代の磁気イメージセンサには、過酷な環境下で安定して動作する高信頼性や、室温においてもピコテスラ(pT)以下の磁場が計測できる超高感度化が求められている。本研究では、研究代表者らが約15年間にわたるダイヤモンドMEMSの先駆的研究に基づいて、磁歪材料×ダイヤモンドMEMS異種構造と高速イメージセンシングデバイスコンセプトを提案し、既存の磁気イメージセンサの欠点を克服して、革新的な高信頼性、高感度、高速及び高空間分解能の利点を持つMEMS磁気イメージセンサの開発を目的とする。

報告書

(1件)
  • 2024 審査結果の所見

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公開日: 2024-04-05   更新日: 2025-04-17  

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