| 研究課題/領域番号 |
24H00287
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
廖 梅勇 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主席研究員 (70528950)
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| 研究分担者 |
戸田 雅也 東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)
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| 研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2029-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
48,100千円 (直接経費: 37,000千円、間接経費: 11,100千円)
2024年度: 16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
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| キーワード | ダイヤモンド / MEMS / 磁気センサ |
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| 研究開始時の研究の概要 |
次世代の磁気イメージセンサには、過酷な環境下で安定して動作する高信頼性や、室温においてもピコテスラ(pT)以下の磁場が計測できる超高感度化が求められている。本研究では、研究代表者らが約15年間にわたるダイヤモンドMEMSの先駆的研究に基づいて、磁歪材料×ダイヤモンドMEMS異種構造と高速イメージセンシングデバイスコンセプトを提案し、既存の磁気イメージセンサの欠点を克服して、革新的な高信頼性、高感度、高速及び高空間分解能の利点を持つMEMS磁気イメージセンサの開発を目的とする。
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