原子層オーダー分解能In-Situ/オペランド核共鳴散乱分光法の開発

• 研究課題/領域番号: 24H00420
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 中区分29:応用物理物性およびその関連分野
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 瀬戸 誠 京都大学, 複合原子力科学研究所, 教授 (40243109)
• 研究分担者: 三井 隆也 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光量子科学研究所 放射光科学研究センター, 上席研究員 (20354988) ; 境 誠司 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子技術基盤研究所 量子機能創製研究センター, 上席研究員 (10354929)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2029-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 48,230千円 (直接経費: 37,100千円、間接経費: 11,130千円); 2024年度: 23,270千円 (直接経費: 17,900千円、間接経費: 5,370千円)
• キーワード: 核共鳴散乱 / 原子層オーダー分解能 / In-Situ／オペランド分光法

研究開始時の研究の概要

原子核をプローブとするメスバウアー・核共鳴散乱分光法は、対象原子核周辺の局所的な電子状態およびダイナミクスを、neV~eVといった広いエネルギースケールで観測できる。本研究では、この特徴を活かし、同位体が原子核としては異なるものの電子系の支配する物性に対してはほぼ等価であることをベースに、特定位置に同位体を埋め込むことの出来る微細加工技術と分光法開発により、これまでは困難であった、ナノ構造体や多層膜などのデバイス試料において表面だけでなく内部の原子層においてもオングストロームオーダーの位置分解能でIn-situ/オペランド測定を実現する分光法を開発し、次世代デバイス開発などの新展開を目指す。