研究課題/領域番号 |
24H00432
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研究種目 |
基盤研究(A)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
中区分30:応用物理工学およびその関連分野
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研究機関 | 九州大学 |
研究代表者 |
寒川 義裕 九州大学, 応用力学研究所, 教授 (90327320)
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研究分担者 |
草場 彰 九州大学, 応用力学研究所, 准教授 (70868926)
杉山 佳奈美 京都大学, 工学研究科, 助教 (70974377)
新田 州吾 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 特任准教授 (80774679)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2028-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
47,840千円 (直接経費: 36,800千円、間接経費: 11,040千円)
2024年度: 13,260千円 (直接経費: 10,200千円、間接経費: 3,060千円)
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キーワード | 化学気相成長 / 表面プロセス / 反応経路探索 |
研究開始時の研究の概要 |
半導体テクノロジー推進の根幹である化学気相成長は、気相反応、表面反応、固相拡散の素過程が絡み合う複雑系であり、その体系化は科学・工学分野における重要な研究課題である。本研究では、化学気相成長プロセスをそのまま丸ごと仮想空間に再現する技術(eXtensible Simulator Suite for Chemical Vapor Deposition, eXS2-CVD)を開発・展開し、化学気相成長に関する普遍的な物理学的知見を明らかにする。
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