異種材料接合の表面処理における固体ソースH2Oプラズマ分布均一化のための改良

• 研究課題/領域番号: 24H02547
• 研究種目: 奨励研究
• 配分区分: 補助金
• 審査区分: 2140:材料力学、生産工学、設計工学、流体工学、熱工学、機械力学、ロボティクスおよびその関連分野
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 遠西 美重 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 技術職員
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2025-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 430千円 (直接経費: 430千円); 2024年度: 430千円 (直接経費: 430千円)

研究開始時の研究の概要

これまで簡易な装置構成の固体ソースH2Oプラズマ処理により、ガラスとPDMSの接合を達成することができたが、接合が不完全であったり、接合面積の大きな試料では接合にムラが生じることがあった。本研究では、電極の形状およびプラズマソースとなる純水を入れる容器の設置位置を改良し、プラズマ分布の均一化を目指す。プラズマ分布は処理前後の試料の表面粗さや純水滴の接触角で評価し、強度は表面を処理したガラスとPDMSの貼り合わせ箇所の破壊強度測定および実際に作製したマイクロ流路デバイスの耐圧性から確認する。