高調波分光法によるプラズマ・表面相互作用の包括計測とその応用

• 研究課題/領域番号: 24K00620
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分14030:プラズマ応用科学関連
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 占部 継一郎 京都大学, 工学研究科, 准教授 (80725250)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円); 2027年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円); 2026年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円); 2025年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円); 2024年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
• キーワード: プラズマ / プラズマ・材料相互作用 / プラズマ診断 / 表面改質 / 高調波分光法

研究開始時の研究の概要

プラズマ・材料相互作用の研究は，プラズマ応用科学の根幹であり，プラズマが関わる先端科学技術やフロンティア開拓の発展に不可欠なものである．研究代表者は「単一の界面で発生しているプラズマ・材料相互作用に対するプラズマパラメータと材料表面状態の同時計測技術」が本分野を大きく発展させると考え，プラズマ（イオンシース）電気特性の非線形性を活用した「高調波分光法」を着想した．この新規計測手法はプラズマ計測と固体表面・薄膜計測という別分野の研究成果を融合したものであり，本研究の進展はプラズマとその関連分野の発展に大きく寄与するものである．