ビーム照射熱音響連成波動顕微鏡の開発と微細内部欠陥の非破壊観察

• 研究課題/領域番号: 24K00759
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分18010:材料力学および機械材料関連
• 研究機関: 長崎大学
• 研究代表者: 澁谷 陽二 長崎大学, 総合生産科学研究科(工学系), 客員研究員 (70206150)
• 研究分担者: 小山 敦弘 長崎大学, 工学研究科, 准教授 (40324800)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,330千円 (直接経費: 14,100千円、間接経費: 4,230千円); 2026年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円); 2025年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円); 2024年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
• キーワード: ビーム照射熱音響連成波動 / 非破壊観察 / VDSR法

研究開始時の研究の概要

従来よりX線や超音波を用いた非破壊検査手法が実用的に用いられているが，幅広い分解能を1つの手法で網羅することは困難である．そこで，本提案では温度場，力学場，電場の３つの場の連成波動のマルチフィジクス問題の解の応用として，熱の波動(熱波)と弾性波動(音波)による連成波動の動作原理を実用化する．そのために，強制振動を与える媒体として電子線とレーザー光を取り上げ，ダイナミックレンジの拡大された顕微システム(SBAM)を構築し，実用的な非破壊像の取得を目指す．また，非破壊内部観察像の画像改質アルゴリズムとして，深層学習による超解像法(VDSR)により画像の回復を行うシステムを構築する．