水素プラズマを用いた極薄結晶シリコン太陽電池のスマート製造プロセスの開発

• 研究課題/領域番号: 24K00778
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分18020:加工学および生産工学関連
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 大参 宏昌 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00335382)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円); 2026年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円); 2025年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円); 2024年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
• キーワード: 太陽電池 / シリコン / プラズマ / 水素 / 特殊加工

研究開始時の研究の概要

本研究では、低炭素社会を支えるエネルギー源としての太陽光発電の導入拡大を経済・社会・環境コストを伴わず進めるため、貴重な単結晶シリコン材料の使用量低減と柔軟軽量化による設置場所多様化を可能とする極薄結晶シリコン太陽電池の製造技術の開発を目的としている。具体的には、研究代表者が開発してきた高密度水素プラズマによるシリコン加工・成膜法を深化させ、水素だけで極薄結晶シリコン太陽電池を実現するためのプロセス指針を確立する。